Aktiver Drehtisch EZ-0779
Key Features
Luftgelagerter Drehtisch mit Direktantrieb
Tragkraft axial 3000 N
Rundlaufgenauigkeit < 0,1 µm
Geschwindigkeit 500 U/min
Wassergekühlt
Design und Konstruktion
Der Drehtisch EZ-0779 mit hoher axialer Tragkraft und axialer/radialer Error Motion unter 100.nm wurde urprünglich für den Einsatz in der Waferbearbeitung entwickelt; er ist für vielfältige Anwendungen geeignet. Der direkt angetriebene Drehtisch ist mit einem leistungsstarken wassergekühlten Torquemotor ausgestattet.
Optional kann eine Drehdurchführung mit bis zu 6 Luft-/Vakuumkanälen integriert werden.
Das Messystem (Numerik Jena RIK4) mit 18.000 Strichen kann wahlweise mit einer Interpolation von
5,..10,..50..oder..100 geliefert werden. Niedrige Interpolationswerte erlauben höhere Drehzahlen, höhere Interpolationswerte erhöhen die Wiederholgenauigkeit.
Der Drehtisch kann in jeder Orientierung waagrecht und senkrecht eingebaut werden.
Einsatzgebiete
Waferschleifen, Waferdünnen, Testsysteme, Anwendungen mit hohen Anforderungen an Gleichlauf und/oder Positioniergenauigkeit
Ansteuerung
Wir bieten den Drehtisch EZ-0779 mit folgenden Antriebsreglern an:
Kollmorgen AKD P00606
Kollmorgen Servostar S300 / S700
ACS Controller