Passiver Drehtisch EZ-RP201
Key Features
Luftgelagerter passiver Drehtisch
Extrem hohe Rundlaufgenauigkeit
Hohe Drehzahlen möglich
Hohe Tragkraft und Steifigkeit
Verschiedene Größen verfügbar
Design und Konstruktion
Die Drehtischserie EZ-RP201 erfüllt mit axialem Error Motion <30 nm und radialem Error Motion <50 nm höchste Ansprüche an die Rundlaufgenauigkeit
Durch das spezielle H-Design des Drehtisches und die eigens optimierte Luftlagerung wird eine sehr hohe axiale Tragkraft und Steifigkeit erreicht. Der in Edelstahl gefertigte Drehtisch kann kundenseitig über einen extern angeflanschten Motor oder über eine Riemenscheibe angetrieben werden.
Einsatzgebiete
Antrieb/Lagerung im Bereich Feindrehen, Polieren, Schleifen, Waferschleifen; Anwendungen mit hohen Rundlaufanforderungen