Koplanare passive Systeme und Hubzylinder
Koplanare Mehrachssysteme erlauben Bewegung in mehreren Freiheitsgraden. Die Systeme können durch Abschalten der Versogungsluft geklemmt werden. Konveyorplatten dienen zum berührungslosen Transport dünner Substrate wie Waver, Glasplatten, Bleche. Luftgelagerte Hubzylinder arbeiten reibungsfrei, ohne Stick-Slip und bieten sich zur Gewichtskraftkompensation in Z-Achsen an.