Luftlager Conveyorplatten EZ-8155

Luftlager Conveyorplatten dienen zum berührungslosen Transport von Substraten wie Glas, Halbleiter-Wavern oder PV-Modulen auf einem Luftpolster. In hochgenauer Ausführung werden in Teilen der Platten die Substrate zusätzlich durch Vakuum vorgespannt. Dies ermöglicht eine hochgenaue Z-Führung damit Beareitung mit dem Laser bei geringer Fokustiefe möglich ist.