Gantry System EZ-0715

Key Features

  • 350mm x 450mm Verfahrweg
  • Hochgenaues koplanares Achssystem
  • Gantry mit vakuum-vorgespanntem Schlitten
  • Ideal für Positionieraufgaben im nm-Bereich
  • Max Tragkraft 250N
  • Erweiterbar mit dynamischer z oder c-Achse

Hochgenauer Gantry Stage 350 x 450 mm

Design und Konstruktion
Der EZ-0715 Gantry Stage ist für hochgenaue Anwendungen konzipiert. Die Verwendung von LIP 6 G0 Maßstäben sowie die optimierte thermosymmetrische Konstruktion ermöglichen Positioniergenauigkeiten der Einzelachsen von ± 250nm bei Wiederholgenauigkeiten von ± 25 nm. Über den vakuumvorgespannten Schlitten und die optimierte Massenverteilung lassen sich hohe Steifigkeiten auf kleinstem Bauraum erreichen. Das System ist erweiterbar um eine z- und / oder c-Achse. Das Bett ist aus Granit gefertigt.
Die eisenlosen Linearmotoren erlauben Beschleunigungen bis zu 10m/s2 und Verfahrgeschwindigkeiten bis zu 1m/s. Die Energiezuführung für beide Achsen erfolgt zur Minimierung mechanischer Störungen seitlich über symmetrisch angebrachte Kabelschlepps.
x und y-Achse lassen sich im Bedarfsfall kundenspezifisch adaptieren

Einsatzgebiete
Hochgenaue Positionieraufgaben, Scannen, Belichten, Laserprozesse allgemein

Ansteuerung
Wir bieten den EZ-0715 mit folgenden Antriebsreglern an:

  • ACS NanoPWM