Hochgenaue impulsgekoppelte Stage EZ-0730
Key Features
- Y/X-System mit Vakuum-Chuck
- Ultra High Speed
- Impulsentkoppelt
- Geringe Move-and-Settle Time
- Wiederholbarkeit im nm Bereich
- Gewichtsreduktion durch Carbonbauteile
Design und Konstruktion
Durch intelligentes Design verfügt der EZ-0730 über eine maximale Steifigkeit sowie eine hervorragende Wiederholgenauigkeit, wodurch eine Minimierung des Cross Talk der Achsen erreicht wird.
Eingebaute Features:
Impulsentkopplung zur Minimierung des Cross-talk auch bei hohen Beschleunigungen.
Reduzierung der Masse des unteren Schlittens durch Carbon-integrierte Bauweise.
Verwendung von Carbonstrukturen mit einer Wärmeausdehnung nahe 0 um schädliche Temperatureinflüsse zu minimieren.
Integrierter, superflacher 11-Zonen-Vakuumchuck mit hochpräziser Tip/Tilt-Einstellung durch ausgeklügelte Druckkolbentechnik, extrem steif.
Minimierung der von der Energiekette ausgehenden Störkräfte durch neuartiges Schleppkettenkonzept.
Eisenlose Antriebe und hochgenaue Maßstäbe (Heidenhain LIP6 G0).
Das Maschinenbett ist aus Granit. Die Achsen lassen sich kundenspezifisch adaptieren.
Einsatzgebiete
Extrem genaue Positionieraufgaben, Scannen, Belichten, Lasergravieren, Laserprozesse allgemein
Ansteuerung
Wir bieten den EZ-0730 mit folgenden Antriebsreglern an:
- Triamec