Nur Wörter mit 2 oder mehr Zeichen werden akzeptiert.
Maximal 200 Zeichen insgesamt.
Leerzeichen werden zur Trennung von Worten verwendet, "" kann für die Suche nach ganzen Zeichenfolgen benutzt werden (keine Indexsuche).
UND, ODER und NICHT sind Suchoperatoren, die den standardmäßigen Operator überschreiben.
+/|/- entspricht UND, ODER und NICHT als Operatoren.
Alle Suchwörter werden zu Kleinschreibung konvertiert.
Das 16-Achs Montagesystem dient zur Montage im Reinraum von Spiegelmodulen für Extrem-UV-Anwendungen (EUV). Alle Linearachsen (13 Stück) und Rotationsachsen (3 Stück) sind luftgelagert. Das Montagesystem arbeitet in zwei Ebenen.
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