16-Achs Montagesystem

Das 16-Achs Montagesystem dient zur Montage im Reinraum von Spiegelmodulen für Extrem-UV-Anwendungen (EUV). Alle Linearachsen (13 Stück) und Rotationsachsen (3 Stück) sind luftgelagert. Das Montagesystem arbeitet in zwei Ebenen.