Theta Tilting Units (TTU) sind 4-Achssysteme, die ein hochgenaues Ausrichten von Substraten ermöglichen. Bewegungen: Theta, Z, TiltX und TiltY. Die laterale Wiederholgenauigkeit ist < 0,05 µm. TTU werden für die Flachbildschirmproduktion eingesetzt. Für große TTU (G8) wurde als Werkstoff MMC (metal matrix ceramics) verwendet, das das spezifische Gewicht von Aluminium mit der Steifigkeit und Wärmedehnung von Stahl kombiniert.