製品説明
EZ-5504フォーカス軸により、アイゼンベルガーは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。外形寸法は99 x 99 x 80 mm (L x W x H)とコンパクトで、光学部品用に約35 mmの中央連続開口部を備えています。スリップ・スティック・フリーのエア・ベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲にわたって最高の精度を実現し、ナノメートル領域での繰り返し精度を実現しています。極めて低い位置誤差に加え、軸の傾き誤差の低さは特に注目に値する。フォーカス軸は永久磁石式重量補正機構を備え、250g の可搬質量に対応するように設計されています。重量補正機構は、50~300g の質量に対して調整可能です。測定システムには、分解能 1 nm、BiSS-C インターフェースを備えたレニショーの測定ヘッドを使用しています。
アプリケーション: このフォーカス軸は、リソグラフィー、マスク露光、スキャニングアプリケーション、または一般的な光学部品やセンサーの位置決めなどの分野における高精度アプリケーションに適しています。コンパクトな寸法と低いシステム重量により、この軸は多くのアプリケーションに簡単に組み込むことができます。エアベアリングと使用される材料により、このフォーカス軸はクリーンルーム用途に適しています。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
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ストローク | ||
位置精度 | ||
全行程における軸の傾き | ||
0.2mmトラベルでの軸の傾き | ||
メカニカルデータ | ||
取付位置 | ||
寸法 長さ×幅×高さ | ||
開口部直径 | ||
フォーカスレンズ取付ネジ | ||
最大許容荷重 許容荷重 | ||
可動質量(ハウジング) | ||
総質量 | ||
重量補正 | ||
材質 ハウジング | ||
材質 ステーター | ||
エンコーダー | ||
タイプ | ||
分解能 | ||
出力信号 | ||
ドライブ | ||
タイプ | ||
最大 中間回路電圧 | ||
連続力 @ Pv 16 W | ||
ピーク荷重 @ ED 10 | ||
コネクションと周辺環境 | ||
供給圧力 | ||
空気消費量 | ||
クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
スタンダード | ||
ハイエンド |