EZ-5504フォーカス軸により、アイゼンベルガーは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。外形寸法は99 x 99 x 80 mm (L x W x H)とコンパクトで、光学部品用に約35 mmの中央連続開口部を備えています。スリップ・スティック・フリーのエアベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲においてナノメートル領域での最高精度と繰り返し精度を実現しています。極めて低い位置決め誤差に加えて、軸の傾斜誤差の低さも強調すべき点です。フォーカシング軸は、永久磁石による重量補正が施され、250gの可搬重量に対応するように設計されている。重量補正は、50~300 gの質量に対して調整可能です。焦点軸は、ボイスコイルモーターを介して動的に動かすことができます。測定システムには、分解能 1 nm、BiSS インターフェースのレニショー測定ヘッドを使用しています。