フォーカス軸

EZ-5504|主な特長

  • コンパクト設計
  • ストローク 18 mm
  • 位置精度 << 100 nm
  • ボイスコイルによるダイナミックムーブメント
  • 永久磁石による重量補正
  • 300gまでの光学部品に対応

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製品説明

EZ-5504フォーカス軸により、アイゼンベルガーは全く新しい革新的な軸コンセプトを実現しました。外形寸法は99 x 99 x 80 mm (L x W x H)とコンパクトで、光学部品用に約35 mmの中央連続開口部を備えています。スリップ・スティック・フリーのエアベアリングにより、18 mmの全ストローク範囲においてナノメートル領域での最高精度と繰り返し精度を実現しています。極めて低い位置決め誤差に加えて、軸の傾斜誤差の低さも強調すべき点です。フォーカシング軸は、永久磁石による重量補正が施され、250gの可搬重量に対応するように設計されている。重量補正は、50~300 gの質量に対して調整可能です。焦点軸は、ボイスコイルモーターを介して動的に動かすことができます。測定システムには、分解能 1 nm、BiSS インターフェースのレニショー測定ヘッドを使用しています。

応用分野フォーカス軸は、リソグラフィ、マスク露光、スキャニングアプリケーション、または一般的な光学部品やセンサーの位置決めなどの分野における高精度アプリケーションに適しています。コンパクトな寸法と低いシステム重量により、この軸は多くのアプリケーションに簡単に組み込むことができます。エアベアリングと使用される材料により、このフォーカス軸はクリーンルーム用途に適しています。

仕様

タイプ
単位
価値
ストローク
mm
18
位置精度
nm
<< 100
全行程における軸の傾き
µrad
< 20
0.2mmトラベルでの軸の傾き
µrad
<< 2
メカニカルデータ
単位
価値
取付位置
バーティカル
寸法 長さ×幅×高さ
mm
99 x 99 x 80
開口部直径
mm
35
フォーカスレンズ取付ネジ
M41 x 0.75
最大許容荷重 許容荷重
g
50 - 300
可動質量(ハウジング)
g
900
総質量
g
1800
重量補正
永久磁石
材質 ハウジング
アルマイト
材質 ステーター
アルミニウム・ハードコート
エンコーダー
単位
価値
タイプ
絶対
分解能
nm
1
出力信号
BiSS-C
ドライブ
単位
価値
タイプ
ボイスコイル
最大 中間回路電圧
VDC
24
連続力 @ Pv 16 W
N
4
ピーク荷重 @ ED 10
N
12
コネクションと周辺環境
単位
価値
供給圧力
bar
5
空気消費量
Sl/min
およそ 12
クリーンルーム適合性
該当
ドライブコントロール
価値
スタンダード
Technosoft
ハイエンド
ACS / Triamec
EZ-5504-Blueprint_v001

コントロール

ACSおよびTriamecのドライブコントローラを搭載したフォーカス軸を提供しています。

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