제품 설명
EZ-5504 포커스 축이 적용된 EZENBERGER는 완전히 새롭고 혁신적인 축 개념을 구현했습니다. 외부 기능은 99 x 99 x 80mm(L x W x H)의 컴팩트한 크기와 광학 부품을 위한 약 35mm의 중앙 연속 개구부를 갖추고 있습니다. 슬립 스틱이 없는 에어 베어링은 18mm의 전체 스트로크 범위에서 최대 정밀도와 나노미터 범위에서 반복성을 제공합니다. 극도로 낮은 위치 오차 외에도 축의 낮은 기울기 오차가 특히 주목할 만합니다. 초점 축은 영구적으로 자기적으로 무게를 보정하고 허용하중 250g에 대해 설계되었습니다. 무게 보정은 50g에서 300g 사이의 질량에 대해 조정할 수 있으며, 초점 축은 보이스 코일 모터를 통해 동적으로 이동할 수 있습니다. 측정 시스템으로는 해상도 1nm의 Renishaw 측정 헤드와 BiSS-C 인터페이스가 사용됩니다.
적용분야: The focus axis is suitable for high-precision applications in the fields of lithography, mask exposure, scanning applications or generally for positioning optics and sensors. Due to the compact dimensions and the low system weight, the axis can be easily integrated into many applications. The air bearing and the materials used predestine the focus axis for clean room applications.
사양
Type | Unit | Value |
|---|---|---|
| Stroke | ||
| Position Accuracy | ||
| Axial Tilt of the Axis over entire travel | ||
| Axial Tilt of the Axis over 0.2 mm travel | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Dimensions L x B x H | ||
| Diameter Opening | ||
| Mounting Thread for Focus Lens | ||
| Max. Permissible Load | ||
| Moving Mass (housing) | ||
| Total Mass | ||
| Weight Compensation | ||
| Material Housing | ||
| Material Stator | ||
Encoder | ||
| Type | ||
| Resolution | ||
| Output Signal | ||
Drive | ||
| Type | ||
| Max. Intermediate Circuit Voltage | ||
| Continuous Force @ Pv 16 W | ||
| Peak Force @ ED 10 % | ||
Environment and Interfaces | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Clean-Room Suitability | ||
Drive Control | ||
| Standard | ||
| High End |
