에어베어링 턴테이블

EZ-0275 | 주요 특징

  • 에어베어링 턴테이블 (Direct Drive )
  • 반경 방향 런아웃: < 0,1 μm
  • Angular Accuracy < ±0,5 arcsec
  • 660 U/min in Standard Version
  • 1 Vpp 또는 보간(Interpolation) 기능 (5배, 10배, 50배, 100배)

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제품 설명

EZ-0275는 중간 크기의 오랜 기간 검증된 직접 구동 방식의 에어베어리 턴테이블입니다. 토크 모터(IDAM RMF 2상 또는 3상)를 통해 660 rpm까지 동적인 애플리케이션을 구현할 수 있습니다. 이 턴테이블은 매우 정밀한 회전 동작과 높은 반복 정확도가 요구되는 애플리케이션에 특히 적합합니다. 측정 시스템(Numerik Jena RIK4)은 18,000 라인으로 구성되며, 5배, 10배, 50배 또는 100배의 보간계수를 선택적으로 제공합니다. 낮은 보간 값은 더 높은 속도를 허용하고, 높은 보간 값은 반복성을 증가시킵니다. 로터는 자기적으로 선압을 받아(magnetically preloaded) 공기 공급이 차단되면 하우징에 고정되어 위치를 유지합니다. 설치 위치에 대한 제약은 없습니다. 사용된 재료와 에어 베어링이 기본적으로 윤활제를 사용하지 않는 점으로 인해 이 로터리 테이블은 클린룸에서도 사용이 적합합니다. 최대 허용 하중은 600 N입니다. EZ-0275는 중형급의 신뢰성 높은 직접 구동 방식 에어베어링 턴테이블로, 오랜 기간 검증된 제품입니다. 토크 모터(IDAM RMF 2상 또는 3상)를 통해 최대 660 rpm까지 동적 애플리케이션을 구현할 수 있습니다. 이 턴테이블은 정밀한 회전 동작과 높은 반복 정확도가 요구되는 환경에 특히 적합합니다. 측정 시스템(Numerik Jena RIK4, 18,000 라인)을 사용하며, 5배, 10배, 50배, 100배 보간 계수 중 선택할 수 있습니다. 보간 계수가 낮을수록 더 높은 속도를, 보간 계수가 높을수록 더 높은 반복성을 제공합니다. 로터는 자기적으로 선압을 받아(magnetically preloaded) 공기 공급이 차단되면 하우징에 고정되어 위치를 유지합니다. 설치 위치에 대한 제한이 없으며, 윤활제가 필요 없는 에어베어링과 특수 재료를 사용하여 클린룸 환경에서도 적합합니다. 최대허용 하중은 600 N입니다.

적용 분야:: 고정밀 위치 지정 및 측정 시스템,검사 기술,시험 시스템,교정 시스템,광학 정렬,동기화 또는 위치 지정 반복성에 대한 높은 요구 사항이 있는 애플리케이션

사양

Type
Unit
2 phase
3 phase
Turning Range
°
> 360 (unlimited)
> 360 (unlimited)
Error Motion axial (in the center)
μm
< 0.1
<0,1
Error Motion radial (at 20 mm height)
μm
< 0.1
<0,1
Runout axial (along radius 35 mm)
μm
1
1
Repeatability (compensated)1)
arcsec
± 0.3
± 0,3
Accuracy (compensated)1)
arcsec
± 0.5
± 0,5
Max. Speed2)
rpm/min
660
660
Mechanical Data
Unit
2 phase
3 phase
Mounting Position
unrestricted
unrestricted
Diameter x Hight
mm
149 x 80
149 x 85
Moving Mass (rotor)
kg
3
3
Total Mass
kg
5,9
6,5
Max. Load Capacity axial push/pull
N
600 / 200
600 / 200
Nominal Load Capacity axial push/pull
N
480 / 160
480 / 160
Max. Load Capacity radial
N
225
225
Nominal Load Capacity radial
N
180
180
Stiffness axial
N/µm
100
100
Stiffness radial
N/µm
15
15
Max. Moment of Tilt
Nm
14
14
Inertial Moment
kg*m2
0,0027
0,0027
Material
aluminium anodized, steel
aluminium anodized, steel
Encoder
Unit
2 phase
3 phase
Type
incremental
incremental
Lines per Revolution
18.000
18.000
Output Signal
1Vpp / RS422
1Vpp / RS422
Interpolation Options
5, 10, 50, 100-fold
5, 10, 50, 100-fold
Drive
Unit
2 phase
3 phase
Type
synchronous, iron-core
synchronous, iron-core
Intermediate Circuit Supply 2-/3-phase
VDC
60 V
120 V
Nominal / Peak Torque
Nm
0,76 / 2,08
0,8 / 2,6
Nominal / Peak Current
A rms
1,4 / 3,8
0,9 / 6
Interfaces and Environment
Unit
2 phase
3 phase
Supply Pressure
bar
5
5
Air Consumption
Nl/min
ca.13
ca.13
Cable Length
m
1,5
1,5
Clean Room Suitability
applicable
applicable
Drive Control
2 phase
3 phase
Standard
JAT Ecovario 214 AR
AKD P00606
High end
ACS Controller
ACS Controller
1) 드라이브 컨트롤에 따라 다름
2) interpolation value에 따라 다름
EZ-0275 Drehtisch

제어

EZ-0275 에어베어링 턴테이블은 다음 드라이브 컨트롤러와 함께 제공될 수 있습니다.

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