产品描述
通过 EZ-5504 聚焦轴，EITZENBERGER 实现了全新的创新轴概念。其外形尺寸为 99 x 99 x 80 毫米（长 x 宽 x 高），中央有一个约 35 毫米的连续开口，可用于光学元件。无滑粘空气轴承可在 18 毫米的整个行程范围内实现纳米级的最高精度和重复性。除了极低的定位误差外，轴的低倾斜误差也值得强调。聚焦轴采用永久磁性重量补偿设计，有效载荷为 250 克。重量补偿可根据 50 至 300 克的质量进行调节。聚焦轴可通过音圈电机动态移动。测量系统采用分辨率为 1 nm 的雷尼绍测座和 BiSS 接口。
应用领域：聚焦轴适用于光刻、掩膜曝光、扫描应用或一般光学元件和传感器定位领域的高精度应用。由于结构紧凑、系统重量轻，该轴可以很容易地集成到许多应用中。空气轴承和所使用的材料决定了聚焦轴可以在无尘室中使用。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
|---|---|---|
| 行程 | ||
| 定位精度 | ||
| 轴的倾斜度（整个行程） | ||
| 轴的倾斜度（0.2 mm 行程） | ||
机械参数 | ||
| 安装方向 | ||
| 尺寸（长x宽x高） | ||
| 中心孔直径 | ||
| 对焦镜头安装螺纹 | ||
| 最大承载 | ||
| 移动部件重量 | ||
| 总重 | ||
| 重力补偿 | ||
| 外壳体材料 | ||
| 定子材料 | ||
编码器 | ||
| 类型 | ||
| 分辨率 | ||
| 输出信号 | ||
电机 | ||
| 类型 | ||
| 最大中间电路电压 | ||
| 持续推力 @ Pv 16 W | ||
| 峰值推力 @ ED 10 % | ||
操作使用 | ||
| 供气压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
| 标准 | ||
| 高性能 |
