直线导轨

EZ-5504 | 重要特征

  • 紧凑小巧
  • 行程 18 mm
  • 定位精度<< 100 nm
  • 音圈电机驱动
  • 通过磁力平衡重力
  • 承载力可达 300 g

下载

产品描述

通过EZ-5504 这个气浮轴承结构的聚焦轴,埃森伯格实现了一个全新的、创新的产品。 外形尺寸非常紧凑,仅为 99 x 99 x 80mm ( 长 x 宽 x 高) ,而且为光学部件(安装或者使用)预留了一个35 mm 直径的中央通孔。该气浮轴承实现了无滑杆的设计,可在整个18 mm 行程中有更好的定位精度;并且现实了纳米级的重复定位精度。除了极高的定位精度,还实现了极高的运动直线度。 该气浮轴使用永磁铁作重量补偿,承载力可达 250 g。 重力补偿力值可调,调节范围从 50 到 300 g。 它通过音圈电机为上下运动提供动力。集成了分辨率为 1 纳米的雷尼绍测量头和 BiSS-C 接口。

应用领域: 该聚焦轴可应用到光刻机、掩膜曝光、高精度的扫描设备、或者光学元器件/ 传感器的定位。由于其小巧 尺寸和很轻的重量,可以很容易地集成到很多设备中。空气轴承无摩擦的特性和优质的材料,可以在洁净室环境使用。

技术规格

类型
单位
数值
行程
mm
18
定位精度
nm
<< 100
轴的倾斜度(整个行程)
µrad
< 20
轴的倾斜度(0.2 mm 行程)
µrad
<< 2
机械参数
单位
数值
安装方向
竖直
尺寸(长x宽x高)
mm
99 x 99 x 80
中心孔直径
mm
35
对焦镜头安装螺纹
M41 x 0.75
最大承载
g
50 - 300
移动部件重量
g
900
总重
g
1800
重力补偿
永磁铁
外壳体材料
阳极氧化铝
定子材料
硬化铝
编码器
单位
数值
类型
绝对式
分辨率
nm
1
输出信号
BiSS-C
电机
单位
数值
类型
音圈电机
最大中间电路电压
VDC
24
持续推力 @ Pv 16 W
N
4
峰值推力 @ ED 10 %
N
12
操作使用
单位
数值
供气压力
bar
5
耗气量
Sl/min
大约 12
洁净室适用性
适用
驱控系统
数值
标准
Technosoft
高性能
ACS / Triamec
EZ-5504-Blueprint_v001

驱控系统

我们还可以提供 ACS 或Triamec 驱控系统作为客户的选配项目。

Cookie Consent with Real Cookie Banner