多轴系统

EZ-0117 XY-Kreuztisch
EZ-0745-ZC-Achse

直线导轨

EZ-2352-94 Linearachse
EZ-4360 Linearachse
EZ-5504 Fokusachse

转台

EZ-0675 Drehtisch
EZ-0275 Drehtisch
EZ-0570 Drehtisch
EZ-0779 Drehtisch
EZ-RP201 Drehtisch
EZ-0778 Drehtisch

空气轴承电主轴

EZ-0227 Spindle
EZ-8212 Spindle

空气轴承（垫）

EZ-0053 Standardlager
EZ-0072 Rechtecklager
EZ-0075 Rechtecklager
EZ-0300 Reinraumlager
EZ-0472 Vakuumlager
EZ-0133 Graphitlager

附件

EZ-0149 Andruckschraube
EZ-0249 Andruckschraube
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