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规格/参数
通过EZ-5504 这个气浮轴承结构的聚焦轴,埃森伯格实现了一个全新的、创新的产品。 外形尺寸非常紧凑,仅为 99 x 99 x 80mm ( 长 x 宽 x 高) ,而且为光学部件(安装或者使用)预留了一个35 mm 直径的中央通孔。该气浮轴承实现了无滑杆的设计,可在整个18 mm 行程中有更好的定位精度;并且现实了纳米级的重复定位精度。除了极高的定位精度,还实现了极高的运动直线度。 该气浮轴使用永磁铁作重量补偿,承载力可达 250 g。 重力补偿力值可调,调节范围从 50 到 300 g。 它通过音圈电机为上下运动提供动力。集成了分辨率为 1 纳米的雷尼绍测量头和 BiSS-C 接口。
应用领域: 该聚焦轴可应用到光刻机、掩膜曝光、高精度的扫描设备、或者光学元器件/ 传感器的定位。由于其小巧 尺寸和很轻的重量,可以很容易地集成到很多设备中。空气轴承无摩擦的特性和优质的材料,可以在洁净室环境使用。
我们还可以提供 ACS 或Triamec 驱控系统作为客户的选配项目。