产品描述
通过EZ-5504 这个气浮轴承结构的聚焦轴,埃森伯格实现了一个全新的、创新的产品。 外形尺寸非常紧凑,仅为 99 x 99 x 80mm ( 长 x 宽 x 高) ,而且为光学部件(安装或者使用)预留了一个35 mm 直径的中央通孔。该气浮轴承实现了无滑杆的设计,可在整个18 mm 行程中有更好的定位精度;并且现实了纳米级的重复定位精度。除了极高的定位精度,还实现了极高的运动直线度。 该气浮轴使用永磁铁作重量补偿,承载力可达 250 g。 重力补偿力值可调,调节范围从 50 到 300 g。 它通过音圈电机为上下运动提供动力。集成了分辨率为 1 纳米的雷尼绍测量头和 BiSS-C 接口。
应用领域: 该聚焦轴可应用到光刻机、掩膜曝光、高精度的扫描设备、或者光学元器件/ 传感器的定位。由于其小巧 尺寸和很轻的重量,可以很容易地集成到很多设备中。空气轴承无摩擦的特性和优质的材料,可以在洁净室环境使用。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
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行程 | ||
定位精度 | ||
轴的倾斜度(整个行程) | ||
轴的倾斜度(0.2 mm 行程) | ||
机械参数 | ||
安装方向 | ||
尺寸(长x宽x高) | ||
中心孔直径 | ||
对焦镜头安装螺纹 | ||
最大承载 | ||
移动部件重量 | ||
总重 | ||
重力补偿 | ||
外壳体材料 | ||
定子材料 | ||
编码器 | ||
类型 | ||
分辨率 | ||
输出信号 | ||
电机 | ||
类型 | ||
最大中间电路电压 | ||
持续推力 @ Pv 16 W | ||
峰值推力 @ ED 10 % | ||
操作使用 | ||
供气压力 | ||
耗气量 | ||
洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
标准 | ||
高性能 |