ロータリーテーブル

EZ-0570|主な特長

  • ダイレクトドライブ付きエアベアリングロータリーテーブル
  • 高負荷容量
  • ラジアル振れ < 0,15 μm
  • 標準仕様で 1100
  • 1Vppまたは補間(5倍、10倍、50倍、100倍)

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製品説明

EZ-0570ロータリーステージは、その高い耐荷重(アキシャル/ラジアルで最大2,200N)により、特に40kgまでの重量物の高精度位置決めに適しています。特に、非接触測定システムによる測定作業に適しています。強力な鉄芯トルクモーターを装備しているため、動的アプリケーションも実現できます。軸方向と半径方向の誤差をさらに低減するために、回転テーブルはアイアンレスモーターを使用することもできます。18,000ラインの測定システム(Numerik RIK4)は、オプションで5、10、50、100の補間係数を供給できます。ローターはマグネットで予圧され、エア供給を切るとハウジングにクランプされ、その位置に固定されます。設置位置に制限はありません。

用途: 高精度位置決めおよび測定システム、検査技術、試験システム、位置決めの同期および/または再現性に対する要求が高いアプリケーション。

仕様

タイプ
単位
価値
旋回範囲
°
> 360 (無制限)
誤差 軸方向(中央部)
μm
<0.15
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて)
μm
<0.15
アキシャル振れ(半径35mmに沿って)
μm
2
繰り返し精度(補正なし)
arcsec
± 1.5
角度精度(補正)
arcsec
± 15
最大 速度1)
rpm
1100
メカニカルデータ
単位
価値
取付位置
制限なし
長さ×幅×高さ
mm
200 x 200 x 140
最大荷重 軸方向許容荷重
N
2200
公称耐荷重 アキシャルプッシュ/プル
N
1600
最大許容荷重 ラジアル耐荷重
N
2200
公称ラジアル耐荷重
N
1600
アキシャル剛性
N/µm
280
ラジアル剛性
N/µm
100
傾きに対する抵抗
N/µrad
0.58
最大 最大傾斜モーメント
Nm
70
可動質量(ローター)
kg
3
総質量
kg
15
慣性モーメント
kg*m2
0.019
材質
アルミニウム・ハードコート/陽極酸化
エンコーダー
単位
価値
タイプ
インクリメンタル
ライン/回転
9.000 / 18.000
出力信号
1Vpp / RS422
補間オプション
5, 10, 50, 100
ドライブ
単位
価値
タイプ
同期、鉄芯
中間電圧
VDC
マックスだ。 600
公称/ピークトルク
Nm
10 / 30
公称/ピーク電流
A rms
3.4 / 10
インターフェイスと環境
単位
価値
供給圧力
bar
5
空気消費量
Sl/min
ca.18
ケーブル長
m
1
クリーンルーム適合性
該当
ドライブコントロール
スタンダード
Kollmorgen AKD P00606 / Servostar S300
ハイエンド
ACS Controller

1) 内挿値による

EZ-0570 Drehtisch

コントロール

回転テーブルEZ-0570には以下のドライブコントローラをご用意しています:

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