에어베어링 턴테이블

EZ-0675 | 주요 기능

  • 에어베어링 턴테이블 (Direct Drive )
  • 컴팩트한 디자인 (115 x 115 x 49/60 mm)
  • 반경 방향 런아웃(Radial Runout) < 0,2 μm
  • 표준 버전에서 1,000rpm
  • 1 Vss 또는 보간(Interpolation) 기능 (5배, 10배, 50배, 100배)

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제품 설명

EZ-0675는 115 x 115 mm의 컴팩트한 에어베어링 턴테이블로, 정밀 측정 기기의 위치 제어 작업이나 리니어 축(linear axes)에 장착하여 광학 장비 및 부품 정렬에 적합합니다. M6 및 M4 나사가 있는네 개의 관통 구멍을 통해 상단 또는 하단에서 쉽게 장착할 수 있으며, 통합 측정 시스템(Numerik RIK4, 10,000 라인)은 보간 기능(RS422, 5배, 10배, 50배, 100배) 또는 보간 없는 1Vss 옵션으로 제공됩니다. HT(High Torque) 버전을 선택할 수 있으며, HT 버전의 경우 전체 높이가 49mm에서 60mm로 증가합니다. 자기적 사전 로딩(Magnetic Preload) 기능 덕분에 공기 공급이 차단되면 자동으로 고정(Self-locking)되며, 설치 방향에 제한이 없어 수평 및 수직 모두 설치 가능합니다. 또한, 윤활유가 필요 없는 특수 소재와 설계 덕분에 클린룸 환경에서도 안정적으로 작동할 수 있습니다.

적용 분야:: 고정밀 위치 지정 및 측정 시스템,검사 기술,시험 시스템,교정 시스템,광학 정렬,동기화 또는 위치 지정 반복성에 대한 높은 요구 사항이 있는 애플리케이션

사양

Type
Unit
EZ-0675
EZ-0675 HT
Turning Range
°
> 360 (unlimited)
> 360 (unlimited)
Error Motion axial (in the center)
μm
<0,2
<0,2
Error Motion radial (at 20 mm height)
μm
<0,2
<0,2
Runout Axial (along Ø 75 mm)
μm
1
1
Max. Speed 1)
rpm/min
1000
1000
Mechanical Data
Unit
EZ-0675
EZ-0675 HT
Mounting Position
unrestricted
unrestricted
Length x Width x Height
mm
115 x 115 x 49
115 x 115 x 60
Moving Mass (rotor)
kg
0,4
0,4
Total Mass
kg
2,1
2,1
Nominal Load Capacity axial push/pull
N
160 / 40
160 / 40
Max. Load Capacity radial
N
60
60
Nominale Load Capacity radial
N
45
45
Max. Moment of Tilt
Nm
6
6
Inertial Moment
kg*m2
0,001
0,001
Material
aluminium hardcoat/anodized
aluminium hardcoat/anodized
Encoder
Unit
EZ-0675
EZ-0675 HT
Type
incremental
incremental
Lines per Revolution
10.000
10.000
Output Signal
1Vss / RS422 (interpolated)
1Vss / RS422 (interpolated)
Interpolation Options
5-, 10-, 50-, 100-fold
5-, 10-, 50-, 100-fold
Drive
Unit
EZ-0675
EZ-0675 HT
Type
synchronous, ironless
synchronous, iron-core
Intermediate Circuit Supply
VDC
48
320
Nominal / Peak Torque
Nm
0,3 / 0,6
3,4 / 3,9
Nominal / Peak Current
A rms
2 / 4
5,6 / 7,6
Interfaces and Environment
Unit
EZ-0675
EZ-0675 HT
Supply Pressure
bar
5
5
Air Consumption
Sl/min
ca.12
ca.12
Cable Length
m
1
1
Clean Room Suitability
applicable
applicable
Drive Control
EZ-0675
EZ-0675 HT
Standard
Kollmorgen AKD P00606 / Servostar S300
Kollmorgen AKD P00606 / Servostar S300
High end
ACS Controller
ACS Controller
1) interpolation value에 따라 다름
EZ-0675 Drehtisch

제어

EZ-0675 에어베어링 턴테이블은 다음 드라이브 컨트롤러와 호환됨:

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