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データシート
EZ-8212スピンドルは強力なトルクモーター(Tecnotion)を搭載し、最高5,000 rpmの速度に達します。高速回転では、エアベアリングを冷却する必要があります。そのために、ローターには4つの冷却チャンネルがあり、外部のロータリーユニオンから供給することができます。冷却水の入口はスピンドルの後部に、出口はスピンドルの先端にあり、排出された冷却水は基板の冷却に使用できます。モーターは別の冷却回路で冷却され、どちらのポートもスピンドル後部にあります。気体媒体(真空または圧縮空気)用の2つのチャンネルは、統合されたロータリーユニオンを介してスピンドルノーズに供給されます。このスピンドルはウェーハ研削用に開発されました。ラビリンスシールにより、不潔な環境下でも動作に支障はありません。ラジアル方向とアキシャル方向の運動誤差は200 nm以下で、このスピンドルは幅広い高精度加工プロセスに適しています。スピンドルには、512本のインクリメンタル角度測定システム(ハイデンハインTTR ERM)が装備されています。取り付け位置に制限はありません。
用途: ウェーハ加工、テストシステム、高い同芯度が要求されるアプリケーション。
スピンドルEZ-8212には以下のドライブコントローラをご用意しています: