製品説明
EZ-8212スピンドルは強力なトルクモーター(Tecnotion)を搭載し、最高5,000 rpmの速度に達します。高速回転では、エアベアリングを冷却する必要があります。そのために、ローターには4つの冷却チャンネルがあり、外部のロータリーユニオンから供給することができます。冷却水の入口はスピンドルの後部に、出口はスピンドルの先端にあり、排出された冷却水は基板の冷却に使用できます。モーターは別の冷却回路で冷却され、どちらのポートもスピンドル後部にあります。気体媒体(真空または圧縮空気)用の2つのチャンネルは、統合されたロータリーユニオンを介してスピンドルノーズに供給されます。このスピンドルはウェーハ研削用に開発されました。ラビリンスシールにより、不潔な環境下でも動作に支障はありません。ラジアル方向とアキシャル方向の運動誤差は200 nm以下で、このスピンドルは幅広い高精度加工プロセスに適しています。スピンドルには、512本のインクリメンタル角度測定システム(ハイデンハインTTR ERM)が装備されています。取り付け位置に制限はありません。
用途: ウェーハ加工、テストシステム、高い同芯度が要求されるアプリケーション。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
---|---|---|
旋回範囲 | ||
誤差 軸方向(中央部) | ||
ラジアル方向の誤差(高さ20mmの場合) | ||
アキシャル振れ(取付面にて) | ||
最大 速度 | ||
メカニカルデータ | ||
取付位置 | ||
直径×高さ | ||
開口部 | ||
可動質量(ローター) | ||
総質量 | ||
最大 アキシャルプッシュ/プル | ||
公称負荷容量 アキシャルプッシュ/プル | ||
最大負荷容量 ラジアル耐荷重 | ||
公称ラジアル耐荷重 | ||
アキシャル剛性 | ||
ラジアル剛性 | ||
傾きに対する抵抗 | ||
最大 最大傾斜モーメント | ||
材質 | ||
エンコーダー | ||
タイプ | ||
ライン/回転 | ||
出力信号 | ||
ドライブ | ||
タイプ | ||
供給電圧 | ||
公称トルク(4200 U/min時 | ||
公称トルク時の公称電流(冷却時) | ||
コネクションと周辺環境 | ||
供給圧力 | ||
空気消費量 | ||
真空/圧縮空気用フィードスルー | ||
ケーブル長 | ||
クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
スタンダード |