スピンドル

EZ-8212|主な特長

  • ダイレクトドライブ付きエアベアリングスピンドル
  • 耐荷重アキシャル3,000 N
  • 半径方向振れ < 0,1 μm
  • 最大 速度 5,000 rpm
  • 水冷モーター

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製品説明

EZ-8212スピンドルは強力なトルクモーター(Tecnotion)を搭載し、最高5,000 rpmの速度に達します。高速回転では、エアベアリングを冷却する必要があります。そのために、ローターには4つの冷却チャンネルがあり、外部のロータリーユニオンから供給することができます。冷却水の入口はスピンドルの後部に、出口はスピンドルの先端にあり、排出された冷却水は基板の冷却に使用できます。モーターは別の冷却回路で冷却され、どちらのポートもスピンドル後部にあります。気体媒体(真空または圧縮空気)用の2つのチャンネルは、統合されたロータリーユニオンを介してスピンドルノーズに供給されます。このスピンドルはウェーハ研削用に開発されました。ラビリンスシールにより、不潔な環境下でも動作に支障はありません。ラジアル方向とアキシャル方向の運動誤差は200 nm以下で、このスピンドルは幅広い高精度加工プロセスに適しています。スピンドルには、512本のインクリメンタル角度測定システム(ハイデンハインTTR ERM)が装備されています。取り付け位置に制限はありません。

用途: ウェーハ加工、テストシステム、高い同芯度が要求されるアプリケーション。

仕様

タイプ
単位
価値
旋回範囲
°
> 360 (無制限)
誤差 軸方向(中央部)
μm
< 0.2
ラジアル方向の誤差(高さ20mmの場合)
μm
< 0.2
アキシャル振れ(取付面にて)
μm
< 1
最大 速度
rpm
5,000
メカニカルデータ
単位
価値
取付位置
制限なし
直径×高さ
mm
258 x 386
開口部
mm
50
可動質量(ローター)
kg
24.5
総質量
kg
60
最大 アキシャルプッシュ/プル
N
2,700
公称負荷容量 アキシャルプッシュ/プル
N
2,000
最大負荷容量 ラジアル耐荷重
N
1,200
公称ラジアル耐荷重
N
1,000
アキシャル剛性
N/µm
400
ラジアル剛性
N/µm
100
傾きに対する抵抗
Nm/µrad
3
最大 最大傾斜モーメント
Nm
150
材質
アルミニウムアルマイト / ステンレススチール
エンコーダー
単位
価値
タイプ
インクリメンタル
ライン/回転
512
出力信号
1 Vpp
ドライブ
単位
価値
タイプ
同期、鉄芯
供給電圧
VDC
max. 560
公称トルク(4200 U/min時
Nm
28
公称トルク時の公称電流(冷却時)
Arms
30.8
コネクションと周辺環境
単位
価値
供給圧力
bar
5
空気消費量
Sl/min
ca. 60
真空/圧縮空気用フィードスルー
number of outputs
2
ケーブル長
m
1
クリーンルーム適合性
該当
ドライブコントロール
スタンダード
Kollmorgen AKD
EZ-8212 Spindel

コントロール

スピンドルEZ-8212には以下のドライブコントローラをご用意しています:

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