EZ-8212 空气主轴配备了大功率、大扭矩电机（Tecnotion），最高转速可达 5,000 转/分钟。 在高速运行时，必须连接冷却系统。为此，在转子上集成了四个冷却通道，可通过旋转接头供应冷却液。冷却液输入端位于主轴后部，出口位于输出轴端部；因此排出的冷却液可以用于冷却其他需要冷却的加工件。 电机通过单独的冷却回路进行冷却，冷却液的进口和出口都位于主轴的后部。 供气（真空和压缩空气）的 2 个通道，是通过集成的旋转接头联通的，都位于主轴的输出轴端部。 该款主轴是为晶圆研磨和抛光设计开发的。独特的 密封（迷宫式）确保主轴在不洁净的环境中使用而不易损坏。主轴的径向和轴向误差运动小于 200 nm，适用于各种高精度加工设备。主轴配备了一个 512 线的增量式的旋转编码器（Heidenhain TTR ERM）。主轴的安装方向没有限制，竖直和水平安装都是允许的。