製品説明
EZ-0778パッシブロータリテーブルは、高いアキシャル、ラジアル荷重容量と剛性を特徴としています。< 100 nm 以下の低誤差モーションにより、高精度加工工程における回転運動に最適です。エアベアリングロータリーテーブルは、ベローズカップリングとプーリーを介して外部モーターで駆動することができます。ご要望に応じて、工場で事前に組み立てることも可能です。設置位置に制限はありません。
用途: 精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。
仕様
タイプ | 単位 | EZ-0778 |
|---|---|---|
| 旋回範囲 | ||
| 誤差 軸方向（中央部） | ||
| ラジアル方向の振れ（高さ20mmにて） | ||
| アキシャル振れ（半径85mm方向） | ||
| 最大 速度 | ||
メカニカルデータ | ||
| 取付位置 | ||
| 直径×高さ | ||
| 最大 アキシャル荷重 | ||
| 公称荷重 | ||
| 最大荷重 ラジアル荷重 | ||
| 公称ラジアル荷重 | ||
| 剛性アキシャル | ||
| ラジアル剛性 | ||
| 傾きに対する抵抗 | ||
| 最大 最大傾斜モーメント | ||
| 可動質量（ローター） | ||
| 総質量 | ||
| 慣性モーメント | ||
| 材質 | ||
インターフェイスと環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 空気消費量 | ||
| クリーンルーム適合性 |
図： プーリー付きロータリーテーブル – お客様のご要望に応じたプーリータイプ