Drehtisch

EZ-0778 Passiv | Key Features

  • Luftgelagerter passiver Drehtisch
  • Hohe Tragkraft
  • Error Motion < 0,1 μm
  • Ausführung in Edelstahl

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Produktbeschreibung

Der passive Drehtisch EZ-0778 zeichnet sich durch hohe axiale und radiale Tragkraft und Steifigkeit aus. Auf Grund der geringen Error Motion von < 100 nm eignet sich der Tisch hervorragend für Rotationsbewegungen bei hochgenauen Bearbeitungsprozessen. Über eine Balgkupplung und Riemenscheibe kann der luftgelagerte Drehtisch von einem externen Motor angetrieben werden. Auf Wunsch können diese im Werk vormontiert werden. Hinsichtlich der Einbaulage gibt es keine Einschränkungen.

Einsatzgebiete: Antrieb/Lagerung in den Bereichen Feindrehen, Polieren, Schleifen, Waferschleifen; Anwendungen mit hohen Rundlaufanforderungen.

Spezifikationen

Typ
Einheit
EZ-0778
Drehweg
°
> 360 unbegrenzt
Error Motion axial (im Zentrum)
μm
< 0,1
Error Motion radial (auf 20 mm Höhe)
μm
< 0,1
Planlauf axial (entlang Radius 85 mm)
μm
< 2
Max. Drehzahl
rpm
1000
Mechanische Eigenschaften
Einheit
EZ-0778
Einbaulage
beliebig
Durchmesser x Höhe
mm
340 x 209
Max. Tragkraft axial
N
3500
Nominale Tragkraft axial Druck/Zug
N
3000
Max. Tragkraft radial
N
2000
Nominale Tragkraft radial
N
1600
Steifigkeit axial
N/μm
500
Steifigkeit radial
N/μm
175
Kippsteifigkeit
Nm/rad
10
Max. Kippmoment
Nm
250
Bewegte Masse (Rotor)
kg
27
Gesamtmasse
kg
90
Inertialmoment
kg*m2
0,2
Material
Edelstahl
Anschlüsse und Umgebung
Einheit
EZ-0778
Versorgungsdruck
bar
5
Luftverbrauch
Nl/min
ca. 40
Reinraumeignung
ja
EZ-0778 Rotary Table
EZ-0778 Rotary Table

Abb.: Drehtisch mit Riemenscheibe – Ausführung nach Kundenwunsch

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