Verfahrweg 250 mm x 450/800 mm

Verfahrweg 500/600 mm x 500 mm | Wiederholgenauigkeit ± 50 nm

Verfahrweg 350 x 450 mm | Wiederholbarkeit ± 20 nm

Verfahrweg 850 x 500 mm | Step to Step Genauigkeit < 1 nm

Z-Hub 5 mm | Drehwinkel ± 3°

Z-Hub 310 mm | Drehtisch mit hoher Tragkraft

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