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XY-Gantry Stage
EZ-0714 | Key Features
- 500/600 mm x 500 mm Verfahrweg
- Hohe Genauigkeit
- Tragkraft 500 N
- Koplanare Achsbewegung
- Mit und ohne Faltenbalgabdeckung
- Für partikelbehaftete Prozesse geeignet
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Produktbeschreibung
Der EZ-0714 Gantry Stage ist für Positionieraufgaben mit hohen Präzisionsanforderungen ausgelegt und dadurch besonders vielseitig einsetzbar. Durch die optionale Ausstattung mit Faltenbälgen eignet sich der Kreuztisch insbesondere für partikelbehaftete Anwendungen sowie für Laser- bearbeitungsprozesse. Die koplanare Anordnung der Achsen und die Ausführung als Gantry gewährleisten eine sehr hohe Wiederhol- und Positioniergenauigkeit. Alle Luftlager sind magnetisch vorgespannt. Das Kabelmanagement ist so konzipiert, dass mechanische Störungen minimiert werden. Eisenbehaftete Synchronmotoren ermöglichen eine Beschleunigung von bis zu 10.m/s2 und eine Verfahr- geschwindigkeit von bis zu 1.m/s. Das Maschinenbett ist aus Granit gefertigt. Die Erweiterung um eine Z-Achse ist möglich. Der Kreuztisch ist in 2 Größen lieferbar, mit einem Verfahrbereich von 500 x 500 mm oder 500 x 600 mm. Davon abweichende Größen oder Erweiterungen sind auf Anfrage erhältlich.
Einsatzgebiete: Positionieren, Scannen, Belichten, Lasergravieren, Laserprozesse allgemein
Spezifikationen
Typ | Einheit | 500 x 500 mm | 600 x 500 mm |
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Verfahrweg | |||
Positioniergenauigkeit unkompensiert | |||
Wiederholgenauigkeit (bidirektional) 1) | |||
Positionsstabilität 1) | |||
Geradheit / Ebenheit | |||
Nicken | |||
Gieren | |||
Maximale Geschwindigkeit unbelastet | |||
Maximale Beschleunigung unbelastet | |||
Mechanische Eigenschaften | |||
Mögliche Einbaulage | |||
Abmaße | |||
Tragkraft in Z | |||
Bewegte Masse Y | |||
Bewegte Masse X+Y | |||
Gesamtmasse | |||
Encoder | |||
Encodertyp 2) | |||
Sensorsignal | |||
Antrieb | |||
Antriebstyp | |||
Max. Spannung ph-ph | |||
Dauerkraft X / Y | |||
Spitzenstrom X / Y | |||
Gegen-EMK ph-ph | |||
Kraftkonstante | |||
Anschlüsse und Umgebung | |||
Versorgungsdruck | |||
Luftverbrauch | |||
MTBF | |||
Endschalter | |||
Reinraumeignung 3) | |||
Empfohlene Antriebsregler | |||
Standard | |||
High end |
1) vermessen mit ACS Verstärker
2) alternativ absoluter Encoder möglich
3) ohne Faltenbalg, abhängig von Detailausführung
2) alternativ absoluter Encoder möglich
3) ohne Faltenbalg, abhängig von Detailausführung
Ansteuerung
Wir bieten den EZ-0714 mit folgenden Antriebsreglern an: