XY-Gantry Stage

EZ-0714 | Key Features

  • 500/600 mm x 500 mm Verfahrweg
  • Hohe Genauigkeit
  • Tragkraft 500 N
  • Koplanare Achsbewegung
  • Mit und ohne Faltenbalgabdeckung
  • Für partikelbehaftete Prozesse geeignet

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Produktbeschreibung

Der EZ-0714 Gantry Stage ist für Positionieraufgaben mit hohen Präzisionsanforderungen ausgelegt und dadurch besonders vielseitig einsetzbar. Durch die optionale Ausstattung mit Faltenbälgen eignet sich der Kreuztisch insbesondere für partikelbehaftete Anwendungen sowie für Laser- bearbeitungsprozesse. Die koplanare Anordnung der Achsen und die Ausführung als Gantry gewährleisten eine sehr hohe Wiederhol- und Positioniergenauigkeit. Alle Luftlager sind magnetisch vorgespannt. Das Kabelmanagement ist so konzipiert, dass mechanische Störungen minimiert werden. Eisenbehaftete Synchronmotoren ermöglichen eine Beschleunigung von bis zu 10.m/s2 und eine Verfahr- geschwindigkeit von bis zu 1.m/s. Das Maschinenbett ist aus Granit gefertigt. Die Erweiterung um eine Z-Achse ist möglich. Der Kreuztisch ist in 2 Größen lieferbar, mit einem Verfahrbereich von 500 x 500 mm oder 500 x 600 mm. Davon abweichende Größen oder Erweiterungen sind auf Anfrage erhältlich.

Einsatzgebiete: Positionieren, Scannen, Belichten, Lasergravieren, Laserprozesse allgemein

Spezifikationen

Typ
Einheit
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Verfahrweg
mm
500 x 500
600 x 500
Positioniergenauigkeit unkompensiert
μm
± 3
± 3
Wiederholgenauigkeit (bidirektional) 1)
nm
± 50
± 50
Positionsstabilität 1)
nm
50
50
Geradheit / Ebenheit
μm
3
3
Nicken
μrad
15
15
Gieren
μrad
10
10
Maximale Geschwindigkeit unbelastet
m/s
1
1
Maximale Beschleunigung unbelastet
m/s2
10
10
Mechanische Eigenschaften
Einheit
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Mögliche Einbaulage
horizontal
horizontal
Abmaße
mm
1408 x 1248 x 405
1612 x 1380 x 405
Tragkraft in Z
N
500
500
Bewegte Masse Y
kg
45
45
Bewegte Masse X+Y
kg
113
113
Gesamtmasse
kg
1413
1650
Encoder
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Encodertyp 2)
inkrementell
inkrementell
Sensorsignal
1 Vss, 20 μm Signalperiode
1 Vss, 20 μm Signalperiode
Antrieb
Einheit
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Antriebstyp
3-phasig, synchron, eisenbehaftet
3-phasig, synchron, eisenbehaftet
Max. Spannung ph-ph
VAC
400
400
Dauerkraft X / Y
N
1280 / 480
1280 / 480
Spitzenstrom X / Y
Arms
16 / 12
16 / 12
Gegen-EMK ph-ph
V/m/s
76
76
Kraftkonstante
N/A
93
93
Anschlüsse und Umgebung
Einheit
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Versorgungsdruck
bar
5
5
Luftverbrauch
Nl/min
18
18
MTBF
h
> 20.000
> 20 000
Endschalter
PNP
PNP
Reinraumeignung 3)
Ja
Ja
Empfohlene Antriebsregler
500 x 500 mm
600 x 500 mm
Standard
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
High end
ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130
ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130
1) vermessen mit ACS Verstärker
2) alternativ absoluter Encoder möglich
3) ohne Faltenbalg, abhängig von Detailausführung
EZ-0714 XY-Gantry Stage
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