XYステージ

EZ-0714|主な特長

  • 移動範囲 500 / 600 mm x 500 mm
  • 高精度
  • 最大荷重 最大荷重 500 N
  • 同一軸移動
  • ベローズカバーの有無
  • 粒子混入プロセスに最適

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製品説明

EZ-0714ガントリーステージは、高精度が要求される位置決め作業用に設計されており、特に多目的に使用できます。オプションのベローズ付き装置により、ステージはレーザー加工プロセスだけでなく、パーティクルの多いプロセスにも適しています。軸のコプラナー配置とガントリー設計により、非常に高い繰り返し精度と位置決め精度を保証します。すべてのエアベアリングは磁気的に予圧されています。ケーブルマネジメントは、機械的干渉を最小限に抑えるように設計されています。鉄芯同期モーターにより、最大 10.m/s2 の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能です。機械ベッドは花崗岩製。Z軸による延長が可能。XYステージには2種類のサイズがあり、移動範囲は500 x 500 mmまたは500 x 600 mmです。

用途: 位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。

仕様

タイプ
単位
500 x 500 mm
600 x 500 mm
ストローク
mm
500 x 500
600 x 500
位置決め精度(非補償)
μm
± 3
± 3
繰り返し精度(双方向) 1)
nm
± 50
± 50
位置安定性 1)
nm
50
50
上下左右の直進性
μm
3
3
ピッチ
μrad
15
15
ヨー
μrad
10
10
最大速度 無負荷時速度
m/s
1
1
最大加速度 加速度(無負荷時
m/s2
10
10
メカニカルデータ
単位
500 x 500 mm
600 x 500 mm
取付位置
ホリゾンタル
ホリゾンタル
寸法 長さ×幅×高さ
mm
1408 x 1248 x 405
1612 x 1380 x 405
最大荷重 最大荷重
N
500
500
移動質量 Y
kg
45
45
移動質量 X + Y
kg
113
113
総質量
kg
1413
1650
エンコーダー
500 x 500 mm
600 x 500 mm
タイプ 2)
インクリメンタル
インクリメンタル
センサー信号
1 Vss, 20 μm 信号周期
1 Vss, 20 μm 信号周期
ドライブ
単位
500 x 500 mm
600 x 500 mm
タイプ
3相、同期、鉄心
3相、同期、鉄心
最大 最大電圧 ph-ph
VAC
400
400
連続力 X / Y
N
1280 / 480
1280 / 480
ピーク電流 X / Y
Arms
16 / 12
16 / 12
バックEMK ph-ph X / Y
V/m/s
76
76
フォースコンスタント
N/A
93
93
インターフェイスと環境
単位
500 x 500 mm
600 x 500 mm
供給圧力
bar
5
5
空気消費量
Sl/min
18
18
MTBF
h
> 20 000
> 20 000
リミットスイッチ
PNP
PNP
クリーンルーム適合性 3)
該当
該当
ドライブコントロール
500 x 500 mm
600 x 500 mm
スタンダード
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
ハイエンド
ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130
ACS Controller mit UDMpa Drive; Triamec TSD130
1) ACSアンプで測定
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
EZ-0714 XY-Gantry Stage
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