产品描述
EZ-0714龙门结构气浮轴承平台专为高精度、高定位精度的应用而设计制造的,它的使用场景非常广泛。得益于风琴罩的设计,它可应用于含颗粒、粉尘等杂质的环境,也可用于激光切割设备。轴系的共面布置和龙门架结构确保了它具有非常高的定位精度和重复定位精度。所有的空气轴承都集成了磁力预压结构。科学的电缆/气路管线布局极大减少了机械干扰。有铁芯同步电机使得运行速度和加速度分别达到1m/s和10m/s2。EZ-0714的床身由花岗岩(大理石)制作而成。该气浮平台有两种尺寸,对应的行程分别是500x500mm 和500x600mm。如有需要,可以另外扩展出Z轴;也可根据要求扩展出ZC轴(双轴)。
应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。
技术规格
类型 | 单位 | 500 x 500 mm | 600 x 500 mm |
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行程 | |||
定位精度 (未补偿) | |||
重复定位精度 (双向) 1) | |||
位置稳定度 1) | |||
竖直/水平直线度 | |||
俯仰 | |||
偏摆 | |||
最大速度(无负载) | |||
最大加速度(无负载) | |||
机械参数 | |||
安装方向 | |||
尺寸(长 x 宽 x 高) | |||
最大承载( Z向) | |||
滑块重量(Y轴) | |||
滑块重量(X + Y轴) | |||
总重量 | |||
编码器 | |||
类型 2) | |||
信号 | |||
电机 | |||
类型 | |||
峰值电压 | |||
持续推力 X / Y | |||
峰值电流 X / Y | |||
反电动势峰值 X / Y | |||
力常数 | |||
操作使用 | |||
供气压力 | |||
耗气量 | |||
平均无故障工作时长 | |||
限位开关 | |||
洁净室适用性 3) | |||
驱控系统 | |||
标准 | |||
高性能 |
1)由ACS驱动器测得
2)如需要绝对式编码器,请联系我们
3)如不需要风琴罩,请联系我们
2)如需要绝对式编码器,请联系我们
3)如不需要风琴罩,请联系我们
驱控系统
我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器,供客户选择: