Hochgenaue Impulsentkoppelte Stage
EZ-0730 | Key Features
- Y/X-System mit Vakuum-Chuck
- Ultra High Speed
- Impulsentkoppelt
- Geringe Move-and-Settle Time
- Wiederholbarkeit im nm Bereich
- Gewichtsreduktion durch Carbonbauteile
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Produktbeschreibung
Durch intelligentes Design verfügt der EZ-0730 über eine maximale Steifigkeit sowie eine hervorragende Wiederholgenauigkeit, wodurch eine Minimierung des Cross Talk der Achsen erreicht wird.
Eingebaute Features:
- Impulsentkopplung zur Minimierung des Cross-talk auch bei hohen Beschleunigungen.
- Reduzierung der Masse des unteren Schlittens durch Carbon-integrierte Bauweise.
- Verwendung von Carbonstrukturen mit einer Wärmeausdehnung nahe 0, um schädliche Temperatureinflüsse zu minimieren.
- Integrierter, superflacher 11-Zonen-Vakuumchuck mit hochpräziser Tip/Tilt-Einstellung durch ausgeklügelte Druckkolbentechnik, extrem steif.
- Minimierung der von der Energiekette ausgehenden Störkräfte durch neuartiges Schleppkettenkonzept.
- Eisenlose Antriebe und hochgenaue Maßstäbe (Heidenhain LIP6 G0).
Das Maschinenbett ist aus Granit. Die Achsen lassen sich kundenspezifisch adaptieren.
Einsatzgebiete: Extrem genaue Positionieraufgaben, Scannen, Belichten, Lasergravieren, Laserprozesse allgemein
Spezifikationen
Typ | Einheit | Wert |
|---|---|---|
| Verfahrweg | ||
| Genauigkeit Einzelachse, kompensiert | ||
| Differentielle Genauigkeit, Step to Step (3σ) Y-Achse | ||
| Wiederholgenauigkeit (3σ bidirektional) | ||
| Positionsstabilität Y bei max. Beschleunigung X (1σ) | ||
| Settle time X-Achse (4 mm Hub, < 20 nm Positionsfehler) | ||
| Horizontale Geradheit | ||
| Vertikale Geradheit (X-Achse) | ||
| Nicken | ||
| Gieren | ||
| Tip/Tilt Verstellbereich | ||
| Tip/Tilt Einstellbarkeit | ||
| Geschwindigkeit unbelastet (X/Y) | ||
| Max. Beschleunigung unbelastet (X/Y) | ||
Mechanische Eigenschaften | ||
| Untere Achse (X) | ||
| Abmaße B x L x H (ohne Schleppkette, incl. Luftfedern) | ||
| Max. Nutzlast (für dynamische Anwendungen) | ||
| Bewegte Masse obere Achse | ||
| Bewegte Masse untere Achse | ||
| Gesamtmasse | ||
Encoder | ||
| Typ | ||
| Sensorsignal | ||
Antrieb | ||
| Typ | ||
| Max. Spannung ph-ph | ||
| Dauerkraft X (2 Motoren) / Y | ||
| Spitzenstrom X / Y | ||
| Gegen-EMK ph-ph | ||
| Kraftkonstante | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||
| Versorgungsdruck | ||
| Luftverbrauch | ||
| MTBF | ||
| Endschalter | ||
| Reinraumeignung | ||
Empfohlene Antriebsregler | ||
| High end |
