Bei der Konstruktion des luftgelagerten XY-Systems wurde besonderer Wert auf ein kostenbewusstes Design in Verbindung mit hohen Genauigkeitsanforderungen gelegt. Faltenbälge schützen die empfindlichen Luftlagerflächen vor Partikeleintrag, wodurch sich der EZ-0117 besonders für partikelbelastete Anwendungen eignet. Trotz der Ausstattung mit Faltenbälgen wird eine hohe Positioniergenauigkeit erreicht. Eisenbehaftete Synchronmotoren ermöglichen eine Beschleunigung von bis zu 10 m/s² und eine Verfahrgeschwindigkeit von bis zu 1 m/s. Das Maschinenbett ist aus Granit gefertigt. Für die Übergabe von Leistung, Signalen und Medien ist seitlich am Kreuztisch eine Interfaceplatte vorgesehen. Beide Achsen können separat mit elektrischer und pneumatischer Energie versorgt werden. Die Endlagenerkennung erfolgt durch induktive Sensoren. Der Kreuztisch ist in 2 Größen lieferbar, mit Verfahr- bereich 250 x 450 mm oder 250 x 800 mm. Davon abweichende Größen oder Erweiterungen sind auf Anfrage möglich.