产品描述
在该XY气浮平台的设计理念里,EZ-0117特别强调成本优势与高精度完美契合。该系统外壳体覆盖了风琴罩,可防止颗粒杂物进入,所以它特别适合在恶劣环境中使用。有铁芯同步电机使运行速度和加速度分别达到1m/s和10m/s2。EZ-0117的床身由花岗岩(大理石)制作而成。在它机身的侧面预留了接口,用于供电供气,而且两个轴分别供应,互不干涉。在行程的末端配有位置传感器等电气元件。XY气浮轴承平台有两种尺寸,对应的行程分别是250x450mm和250x800mm。如果需要其他尺寸或者行程,请联系我们。
应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。
技术规格
类型 | 单位 | EZ-0117-450 | EZ-0117-800 |
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产品料号 | |||
行程 | |||
定位精度 (未补偿) | |||
重复定位精度 (双向) 1) | |||
位置稳定度 1) | |||
竖直/水平直线度 | |||
俯仰 | |||
偏摆 | |||
最大速度(无负载) | |||
最大加速度(无负载) | |||
机械参数 | |||
安装方向 | |||
尺寸(长 x 宽 x 高) | |||
最大承载(垂直于Z轴) | |||
滑块重量(Y轴) | |||
滑块重量(X + Y轴) | |||
总重量 | |||
编码器 | |||
类型 2) | |||
信号 | |||
电机 | |||
类型 | |||
峰值电压 | |||
持续推力 X / Y | |||
峰值电流 X / Y | |||
反电动势峰值 X / Y | |||
力常数 | |||
操作使用 | |||
供气压力 | |||
耗气量 | |||
平均无故障工作时长 | |||
限位开关 | |||
洁净室适用性 3) | |||
驱控系统 | |||
标准 | |||
高性能 |
1)由ACS驱动器测得
2)如需要绝对式编码器,请联系我们
3)如不需要风琴罩,请联系我们
驱控系统
我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器,供客户选择: