X Y 轴气浮轴承直线运动平台

EZ-0117 | 重要特征

  • 行程 250mm x 450 / 800mm(可选)
  • 最大速度1 m/s
  • 高精度
  • 最大承载 500N
  • 风琴罩全覆盖保护
  • 适用恶劣生产环境

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产品描述

在该XY气浮平台的设计理念里,EZ-0117特别强调成本优势与高精度完美契合。该系统外壳体覆盖了风琴罩,可防止颗粒杂物进入,所以它特别适合在恶劣环境中使用。有铁芯同步电机使运行速度和加速度分别达到1m/s和10m/s2。EZ-0117的床身由花岗岩(大理石)制作而成。在它机身的侧面预留了接口,用于供电供气,而且两个轴分别供应,互不干涉。在行程的末端配有位置传感器等电气元件。XY气浮轴承平台有两种尺寸,对应的行程分别是250x450mm和250x800mm。如果需要其他尺寸或者行程,请联系我们。

应用: 定位精度要求高的设备、扫描设备、曝光设备、激光雕刻。激光加工等。

技术规格

类型
单位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
产品料号
0030823
0026390
行程
mm
250 x 450
250 x 800
定位精度 (未补偿)
μm
± 2
± 2
重复定位精度 (双向) 1)
nm
± 75
± 75
位置稳定度 1)
nm
50
50
竖直/水平直线度
μm
2
3
俯仰
μrad
20
20
偏摆
μrad
10
10
最大速度(无负载)
m/s
1
1
最大加速度(无负载)
m/s2
10
10
机械参数
单位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
安装方向
水平
水平
尺寸(长 x 宽 x 高)
mm
1198 x 1201 x 297
1216 x 1540 x 297
最大承载(垂直于Z轴)
N
500
500
滑块重量(Y轴)
kg
18
18
滑块重量(X + Y轴)
kg
80
80
总重量
kg
675
850
编码器
EZ-0117-450
EZ-0117-800
类型 2)
增量式
增量式
信号
1 Vpp, 20 μm 信号周期
1 Vpp, 20 μm 信号周期
电机
单位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
类型
三相, 同步, 有铁芯
三相, 同步, 有铁芯
峰值电压
VAC
400
400
持续推力 X / Y
N
640 / 320
640 / 320
峰值电流 X / Y
A
16 / 8
16 / 8
反电动势峰值 X / Y
V/m/s
76
76
力常数
N/A
93
93
操作使用
单位
EZ-0117-450
EZ-0117-800
供气压力
bar
5
5
耗气量
Sl/min
20
20
平均无故障工作时长
h
> 20 000
> 20 000
限位开关
PNP
PNP
洁净室适用性 3)
适用
适用
驱控系统
EZ-0117-450
EZ-0117-800
标准
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
高性能
ACS Controller with NanoPWM Drive; Triamec TSD130
ACS Controller with NanoPWM Drive; Triamec TSD130

1)由ACS驱动器测得
2)如需要绝对式编码器,请联系我们
3)如不需要风琴罩,请联系我们

EZ-0117 XY-Kreuztisch
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