Dynamic Wafer Stage
EZ-GS0760 | Key Features
- X/Y Stage mit Fokus-Achse (Z)
- Impulsentkopplung von X- & Y-Achse
- Positioniergenauigkeit < ± 100 nm
- Positionsstabilität < ± 5 nm
- Wiederholgenauigkeit < ± 40 nm @ 3 σ
- Max Beschleunigung Y-Achse 8 g
- Integrierte XY SIOS Differenz-Laserinterferometer
- Quick-swap Lift-Pin Mechanismus
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Produktbeschreibung
Die EZ-GS0760 Wafer Stage wurde für hochdynamische Prozesse, wie etwa Laser-Fuse-Cutting entwickelt. Sie zeichnet sich durch eine hervorragende Wiederholbarkeit, hohe Genauigkeit und außergewöhnliche Dynamik aus.
Eingebaute Features:
- Die Mechanische Impulsentkopplung sowohl in der X- als auch in der Y-Achse ermöglicht maximale Dynamik und Positionsstabilität.
- Das einzigartige Design mit einer gemeinsamen Reaktionsmasse für beide Achsen entkoppelt die Reaktionskräfte vom Metrology-Frame und minimiert das Gesamtgewicht.
- Hochauflösende SIOS-Differenzferometer sorgen für eine nahezu Abbe-Fehler-freie Perfomance und minimieren Messfehler am Arbeitspunkt, selbst bei maximaler Dynamik.
- Für die Y-Achsen ist eine Beschleunigung von bis zu 8 g möglich; bei Wasserkühlung können im Dauerbetrieb bis zu 2 g erreicht werden.
- Die Eigenfrequenz der Y-Achse, einschließlich Wafer Chuck, liegt über 500 Hz.
- Die kompakte Höhe von nur 87 mm mit niedrigem Schwerpunkt unterstützt die hohe Dynamik.
- Die Oberplatte aus Granit bietet großzügigen Platz für Anbauten.
Einsatzgebiete: Fuse-Cutting, hochpräzise Positionierarbeiten, Scannen, On-the-fly-Laserverfahren.
Spezifikationen
Typ | Einheit | Wert |
|---|---|---|
| Verfahrweg X/Y | ||
| Verfahrweg Z | ||
| Max. Last X/Y (bei dynamischem Betrieb) | ||
| Max. Last Z (bei dynamischem Betrieb) | ||
| Positionsstabilität X/Y (3σ) | ||
| Positionsstabilität Z | ||
| Wiederholgenauigkeit X/Y (3σ, bidirektional) | ||
| Wiederholgenauigkeit Z (bidirektional) | ||
| Ebenheit horizontal X/Y | ||
| Ebenheit vertikal X/Y | ||
| Nicken X/Y µrad | ||
| Gieren, Rollen X/Y | ||
| Nicken, Gieren Z | ||
| Max. Beschleunigung (X/Y) mit 10 kg Last | ||
| Max. Beschleunigung (X/Y) ohne Last | ||
Mechanische Eigenschaften | ||
| Impulsentkoppung für beide Achsen (X & Y) | ||
| Abmaße L x B x H | ||
| Gewicht Reaktionsmasse | ||
| Gesamtgewicht | ||
Encoder | ||
| Encodertyp | ||
| Sensorsignal | ||
Interferometer | ||
| Interferometertyp | ||
| Auflösung | ||
| Wellenlänge / Laserklasse | ||
Antrieb | ||
| Antriebstyp X/Y (2 Motoren in X-Achse) | ||
| Zwischenkreisspannung | ||
| Dauerkraft X / Y | ||
| Spitzenkraft X / Y | ||
Anschlüsse und Umgebung | ||
| Druckluft | ||
| Vakuum | ||
| Verbrauch Druckluft | ||
| Verbrauch Vakuum | ||
| Endschalter | ||
| Medien zur Werkstückebene | ||
| Reinraumeignung | ||
Empfohlene Antriebsregler | ||
| High end |
1) vermessen mit ACS Verstärker
2) alternativ absoluter Encoder möglich
3) ohne Faltenbalg, abhängig von Detailausführung
