製品説明
EZ-0715ガントリーステージは、高精度アプリケーション向けに設計されています。インクリメンタル測定システム（ハイデンハインLIP6 G0）と最適化された設計により、位置決め精度は±250 nm、繰り返し精度は単軸で±25 nmを実現しています。真空プレロードスライドと最適化された質量配分により、最小の設置スペースで高い剛性を実現します。アイアンレスモーターにより、最大 10 m/s2 の加速度と最大1 m/sの移動速度が可能です。終端位置は誘導センサーにより検出されます。スライドには、左右対称に取り付けられたドラッグチェーンを介して個別にエネルギーが供給されます。ガントリーステージの機械ベッドは花崗岩製です。両軸ともカスタマイズが可能です。XYシステムは、Z軸および/またはC軸を含むように拡張することができます。
用途: 高精度位置決め作業、スキャニング、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
|---|---|---|
| ストローク | ||
| 単軸の精度（補正後） 1) | ||
| 繰り返し精度（双方向）2) | ||
| 位置安定性 | ||
| 垂直方向の真直度（補正済み | ||
| 水平真直度 | ||
| ピッチ | ||
| ヨーX | ||
| ヨー | ||
| 最大 無負荷速度 | ||
| 最大 加速度（無負荷時 | ||
メカニカルデータ | ||
| 取付位置 | ||
| 寸法 長さ×幅×高さ（約） | ||
| 最大 最大荷重 | ||
| 移動質量 上軸 | ||
| 移動質量 下軸 | ||
| 総質量 | ||
エンコーダー | ||
| タイプ 3） | ||
| センサー信号 | ||
ドライブ | ||
| タイプ | ||
| 最大 電圧 ph-ph | ||
| 連続力 X (2モーター) / Y | ||
| ピーク電流 X / Y | ||
| バックEMK ph-ph | ||
| フォースコンスタント | ||
インターフェイスと環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 空気消費量 | ||
| MTBF | ||
| リミットスイッチ | ||
| クリーンルーム適合性 4） | ||
ドライブコントロール | ||
| ハイエンド |
1) 走行中
2) 準静的モード
3) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
4) 詳細設計による
