製品情報 » 多軸システム » EZ-GS0760 ダイナミックウエハーステージ
データシート
EZ-GS0760は、レーザーフューズカットなどの高ダイナミックプロセスに最適化されたステージです。 優れた再現性と最適な位置決め精度、そして卓越した性能を兼ね備えています。
主な特徴:
アプリケーション: ヒューズカット、高精度位置決め、スキャン、およびオンザフライレーザー加工
–> EZ-GS0760に関する記事
1) ACSアンプで測定2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能3) ベローズなし、詳細設計による
EZ-GS0760ステージには以下のコントローラーが含まれております。