製品説明
EZ-GS0760は、レーザーフューズカットなどの高ダイナミックプロセスに最適化されたステージです。 優れた再現性と最適な位置決め精度、そして卓越した性能を兼ね備えています。
主な特徴：
- X＆Y両軸に機械的インパルスデカップリング構造を採用することで、ダイナミックかつ優れた安定性を提供します。
- 両軸に共通のリアクションマスを使用した独自の設計により、測定フレームへの反動を抑え質量を最小限に留めています。
- 高解像度SIOS製差動レーザー干渉計を内蔵することにより、アッベ誤差をなくし最大ダイナミクス時においても測定誤差の最小化を実現。
- Y軸加速度最大８gを実現；水冷機構を搭載することで2gまでの連続加速の移動プロファイルを可能にしている。
- ウエハーチャックを含むY軸の固有振動数は500Hzを超える。
- わずか87mmのコンパクトな設計の中に低重心·ハイダイナミクスを達成。
- 顧客のニーズに合わせて大型のトッププレート（花崗岩）をご用意しております。
アプリケーション: ヒューズカット、高精度位置決め、スキャン、およびオンザフライレーザー加工
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
|---|---|---|
| X/Y軸の位置決め範囲 | ||
| Z軸のストローク | ||
| X/Y軸の最大積載量（動的アプリケーションの場合） | ||
| Z軸の最大積載量（動的アプリケーションの場合） | ||
| X/Y軸の精度 | ||
| Z軸の精度 | ||
| X/Y軸の繰り返し精度(3σ、双方向） | ||
| Z軸の精度繰り返し精度（双方向） | ||
| 水平真直度(X/Y) | ||
| 垂直真直度(X/Y) | ||
| ピッチ（X/Y) | ||
| ロール、ヨー（X/Y) | ||
| ピッチ、ヨー（Z) | ||
| 10キロ搭載時の最大速度（X/Y軸) | ||
| 無負荷時の最大加速度（X/Y軸） | ||
メカニカルデータ | ||
| 両アクシス（X/Y) | ||
| 寸法（W×L×H） | ||
| リアクションマス | ||
| トータルマス | ||
エンコーダー | ||
| タイプ | ||
| シグナル | ||
干渉計 | ||
| タイプ | ||
| 分解能 | ||
| 波長/クラス | ||
駆動 | ||
| タイプX/Y（X軸に2つのドライブを使用） | ||
| 中間回路電源 | ||
| 一定力X/Y | ||
| ピークフォースX/Y | ||
インターフェースと環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 真空圧 | ||
| エア消費量 | ||
| 真空消費量 | ||
| リミットスイッチ | ||
| ワークピースレベルにおける | ||
| クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
| ハイエンド |
1) ACSアンプで測定
2) ご要望によりアブソリュートエンコーダーも可能
3) ベローズなし、詳細設計による
