製品説明
インテリジェントな設計により、EZ-0730ステージは最高の剛性と優れた再現性を実現し、軸のクロストークを最小限に抑えます。
内蔵機能
- 高い加速度でもクロストークを最小限に抑えるインパルスデカップリング。
- 下部スライドにカーボンを使用することで重量を最適化。
- 熱膨張率が0に近いカーボン構造を採用し、有害な温度影響を最小化。
- 高度な加圧メンブレン技術による高精度チップ/チルト調整機能を備えたフラット11ゾーン真空クランプ装置内蔵による高剛性チャック。
- 斬新なドラッグチェーンコンセプトにより、エネルギーチェーンから発生する外乱力を最小化。
- アイアンレスドライブと高精度スケール（ハイデンハインLIP6 G0）。
機械ベッドは花崗岩製。軸はお客様のご要望に応じてカスタマイズ可能。
用途: 高精度位置決め、スキャン、露光、レーザー彫刻、レーザー加工全般。
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
|---|---|---|
| 位置決め範囲 | ||
| 各軸補正精度 | ||
| 差分精度 Y軸、ステップ間（3σ） | ||
| 繰り返し精度（3σ、双方向） | ||
| 位置安定性 Y軸、最大加速時 X | ||
| セトルタイム X軸（ストーク4mm、位置誤差<20nm） | ||
| 水平真直度 | ||
| 垂直真直度（X軸） | ||
| ピッチ | ||
| ヨー | ||
| チップ/ティルト調整範囲 | ||
| ティップ/ティルト調整可能範囲 | ||
| 最大 無負荷速度（X/Y） | ||
| 最大 無負荷時加速度（X/Y） | ||
メカニカルデータ | ||
| 下軸 (X) | ||
| 寸法 B x W x H (ドラッグ・チェーンなし、エア・スプリング含む) | ||
| 最大積載量 可搬質量（動的用途） | ||
| 移動質量 上軸 (Y) | ||
| 移動質量 下軸 (X) | ||
| 総質量 | ||
エンコーダー | ||
| タイプ | ||
| 信号 | ||
ドライブ | ||
| タイプ | ||
| 中間回路供給 | ||
| コンスタントフォースX（2ドライブ）/Y | ||
| ピークフォースX / Y | ||
| バックエムコph-ph X / Y | ||
| フォースコンスタント | ||
インターフェイスと環境 | ||
| 供給圧力 | ||
| 空気消費量 | ||
| MTBF | ||
| リミットスイッチ | ||
| クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
| ハイエンド |
