제품 설명
EZ-0745 에어 베어링 ZC 축은 XY 스테이지(예: EZ-0715)에 통합되도록 설계되었습니다. 고도의 통합된 설계로 인해 약 138mm의 낮은 전체 높이만 필요합니다. 회전 각도는 ± 3°로 제한됩니다. ± 1.5μrad의 높은 반복성으로 기판을 매우 정밀하게 정렬할 수 있습니다. Z축은 2개의 에어 베어링 패드를 통해 회전에 대해 고정되며, 2개의 반대쪽 보이스 코일에 의해 동적으로 구동됩니다. 무게 분리를 위해 에어 베어링 공압 실린더가 통합되어 있습니다. Z 스트로크의 개별적이고 고객 맞춤형 조정이 가능합니다.
적용분야: High-precision positioning tasks, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.
사양
Type | Unit | Value |
|---|---|---|
| Rotation Angle (C) | ||
| Stroke in Z | ||
| Straightness (ZTX, ZTY) | ||
| Pitch, Yaw (ZRX, ZRY) | ||
| Roll (ZRZ) | ||
| Position Stability in Z 1) | ||
| Accuracy Z 1) | ||
| Position Accuracy C 1) | ||
| Repeatability C 1) | ||
| Max. Speed unloaded | ||
| Max. Acceleration unloaded | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Diameter Cylinder x Height | ||
| Total Mass | ||
| Max. Load | ||
| Material | ||
Encoder | ||
| Type | ||
| Signal | ||
Drive | ||
| Drive Type C-Axis | ||
| Intermediate Circuit Voltage C-Axis | ||
| Nominal/Peak Force C-Axis | ||
| Nominal/Max. Current C-Axis | ||
| Drive Type Z-Axis | ||
| Intermediate Circuit Voltage Z-Axis | ||
| Nominal/Peak Force Z-Axis | ||
| Nominal/Max. Current Z-Axis at 48 V | ||
Interfaces and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Clean Room Suitability | ||
Drive Control | ||
| Standard | ||
| High End |
1) ACS amplifier로 측정됨
제어
EZ-0745 ZC-axis는 다음의 driver controller를 제공 합니다.
