产品描述
E Z – 0 7 4 5 – Z C 可以集成到X Y 平台中, 比如EZ-0715,形成一个四轴系统。 由于高度集成设计,总体高度仅为138mm。旋转角度±3°。由于C轴的重复定位精度极高,仅为±1.5μrad,使得机台的对准角度极高。集成了2个气浮轴承块,防止Z轴旋转;集成了2个音圈电机提供动力;同时集成了空气轴承平衡气缸来平衡重力。如果需要定制化的、仅作为Z轴使用,请联系我们。
应用:高精度定位、扫描、曝光、激光雕刻、激光加工等。
技术规格
类型 | 单位 | 数值 |
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旋转角度(C轴) | ||
行程(Z轴) | ||
直线度(ZTX, ZTY) | ||
俯仰/偏摆(ZRX, ZRY)) | ||
翻滚(ZRZ) | ||
位置稳定度,Z轴 1) | ||
定位精度,Z轴 1) | ||
定位精度,C轴 1) | ||
重复定位精度,C轴 1) | ||
最大速度(无负载) | ||
最大加速度(无负载) | ||
机械参数 | ||
安装方向 | ||
尺寸,缸径 x 高度 | ||
总重量 | ||
最大承载 | ||
材料 | ||
编码器 | ||
类型 | ||
信号 | ||
电机 | ||
类型,C轴 | ||
中间电路电压,C轴 | ||
额定/峰值推力,C轴 | ||
额定/最大电流,C轴 | ||
类型,Z轴 | ||
中间电路电压,Z轴 | ||
额定/峰值推力,Z轴 | ||
额定/最大电流,Z轴 | ||
操作使用 | ||
供气压力 | ||
耗气量 | ||
洁净室适用性 | ||
驱控系统 | ||
标准 | ||
高性能 |
1)由ACS测得