제품 » 다축 시스템
이동 범위: 250 mm x 450/800 mm | 반복 정밀도: ± 75 nm
이동 범위: 500/600 mm x 500 mm | 반복 정밀도: ± 50 nm
이동 범위: 450 x 400 mm | 반복 정밀도: ± 40 nm
이동 범위: 850 mm x 500 mm | 스텝 간 정확도: < 1 nm
이동 범위: 350 mm x 450 mm | 반복 정밀도: ± 20 nm
Z축 스트로크: 5 mm | 회전 각도: ± 3°
Z축 스트로크: 310 mm | 고하중 회전 테이블 포함
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Tobias SeemillerTel.: +49 8809 329-36tobias.seemiller@eitzenberger.com
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