제품 설명
EZ-0715 Gantry 스테이지는 고정밀도 적용분야를 위해 설계되었습니다. Incremental 측정 시스템(Heidenhain LIP6 G0)과 최적화된 설계를 통해 단일 축에 대해 ± 250nm의 위치 정확도와 ± 25nm의 반복정도를 제공합니다. 진공 프리로드가 적용된 슬라이드의 최적화된 질량 분포는 가장 작은 설치 공간에서 높은 강성을 가능하게 합니다. Ironless 모터는 최대 10m/s2 의 가속과 최대 1m/s의 이동 속도를 가능하게 합니다. 끝 위치는 유도 센서에 의해 감지됩니다. 슬라이드는 대칭적으로 부착된 케이블 체인을 통해 별도로 전기 또는 공기를 공급받습니다. 갠트리 스테이지의 machine bed는 석정반으로 만들어졌습니다. 두축 모두 맞춤 설정할 수 있습니다. XY 시스템은 Z축 과 C축을 포함해서 확장할 수 있습니다.
적용분야: High-precision positioning tasks, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.
사양
Type | Unit | Value |
|---|---|---|
| Stroke | ||
| Accuracy for Single Axis, compensated 1) | ||
| Repeatability (bidirectional) 2) | ||
| Position Stability | ||
| Vertikal Straightness, compensated | ||
| Horizontal Straightness | ||
| Pitch | ||
| Yaw X | ||
| Yaw Y | ||
| Max. Speed unloaded | ||
| Max. Acceleration unloaded | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Dimension L x W x H (ca.) | ||
| Max. Load | ||
| Moving Mass Upper Axis | ||
| Moving Mass Lower Axis | ||
| Total Mass | ||
Encoder | ||
| Type 3) | ||
| Sensor Signal | ||
Drive | ||
| Type | ||
| Max. Voltage ph-ph | ||
| Continuous Force X (2 motors) / Y | ||
| Peak Current X / Y | ||
| Back-EMK ph-ph | ||
| Force Constant | ||
Interface and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| MTBF | ||
| Limit Switch | ||
| Clean Room Suitability 4) | ||
Drive Control | ||
| High End |
1) 중간 이송 거리
2) 준 정적 모드
3) 절대치 엔코더 요청시 가능
4) 상세 설계에 따름
