XY-Gantry 스테이지

EZ-0715 I 주된 특징

  • 이송 범위 350 mm x 450 mm
  • 높은 정밀도의 동일 평면상 축 시스템
  • Vacuum preload 슬라이드가 적용된 Gantry
  • nm 범위에서 위치 결정에 이상적임
  • 최대 부하 250 N
  • Z/C 축으로 확장 가능

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제품 설명

EZ-0715 Gantry 스테이지는 고정밀도 적용분야를 위해 설계되었습니다. Incremental 측정 시스템(Heidenhain LIP6 G0)과 최적화된 설계를 통해 단일 축에 대해 ± 250nm의 위치 정확도와 ± 25nm의 반복정도를 제공합니다. 진공 프리로드가 적용된 슬라이드의 최적화된 질량 분포는 가장 작은 설치 공간에서 높은 강성을 가능하게 합니다. Ironless 모터는 최대 10m/s2 의 가속과 최대 1m/s의 이동 속도를 가능하게 합니다. 끝 위치는 유도 센서에 의해 감지됩니다. 슬라이드는 대칭적으로 부착된 케이블 체인을 통해 별도로 전기 또는 공기를 공급받습니다. 갠트리 스테이지의 machine bed는 석정반으로 만들어졌습니다. 두축 모두 맞춤 설정할 수 있습니다. XY 시스템은 Z축 과 C축을 포함해서 확장할 수 있습니다.

적용분야: High-precision positioning tasks, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.

사양

Type
Unit
Value
Stroke
mm
350 x 450
Accuracy for Single Axis, compensated 1)
nm
± 250
Repeatability (bidirectional) 2)
nm
± 20
Position Stability
nm
15
Vertikal Straightness, compensated
nm
± 250
Horizontal Straightness
µm
± 1.5
Pitch
μrad
5
Yaw X
μrad
1
Yaw Y
μrad
3
Max. Speed unloaded
m/s
0.5
Max. Acceleration unloaded
m/s2
10
Mechanical Data
Unit
Value
Mounting Position
horizontal
Dimension L x W x H (ca.)
mm
1170 x 1380 x 463
Max. Load
kg
25
Moving Mass Upper Axis
kg
18
Moving Mass Lower Axis
kg
32
Total Mass
kg
1300
Encoder
Value
Type 3)
incremental
Sensor Signal
1 Vss, 4 μm signal period
Drive
Unit
Value
Type
3-phase, synchronous, iron-less
Max. Voltage ph-ph
VAC
300
Continuous Force X (2 motors) / Y
N
1200 / 340
Peak Current X / Y
Arms
16.8 / 8.4
Back-EMK ph-ph
V/m/s
55.5
Force Constant
N/A
68
Interface and Environment
Unit
Value
Supply Pressure
bar
5
Air Consumption
Sl/min
20
MTBF
h
> 20 000
Limit Switch
PNP
Clean Room Suitability 4)
applicable
Drive Control
Value
High End
ACS NanoPWM

1) 중간 이송 거리
2) 준 정적 모드
3) 절대치 엔코더 요청시 가능
4) 상세 설계에 따름

EZ-0715 High Precision Gantry Stage

제어

EZ-0117 stage는 다음의 driver controller를 제공 합니다.

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