에어베어링 ZC-Axis

EZ-0745-ZC | 주된 특징

  • 수직 방향 설치를 위한 리니어 축
  • 회전 각도 ±3°
  • 최대 부하 10 kg
  • 무게 보상 장치 통합
  • 절대치 Linear Encoder
  • 보이스 코일 모터에 의한 Dynamic Drive
  • X/Y Stages (e.g. EZ-0715) 병합 가능

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제품 설명

EZ-0745 에어 베어링 ZC 축은 XY 스테이지(예: EZ-0715)에 통합되도록 설계되었습니다. 고도의 통합된 설계로 인해 약 138mm의 낮은 전체 높이만 필요합니다. 회전 각도는 ± 3°로 제한됩니다. ± 1.5μrad의 높은 반복성으로 기판을 매우 정밀하게 정렬할 수 있습니다. Z축은 2개의 에어 베어링 패드를 통해 회전에 대해 고정되며, 2개의 반대쪽 보이스 코일에 의해 동적으로 구동됩니다. 무게 분리를 위해 에어 베어링 공압 실린더가 통합되어 있습니다. Z 스트로크의 개별적이고 고객 맞춤형 조정이 가능합니다.

적용분야: High-precision positioning tasks, scanning, exposure, laser engraving, laser processes in general.

사양

Type
Unit
Value
Rotation Angle (C)
°
± 3
Stroke in Z
mm
5
Straightness (ZTX, ZTY)
nm
< 100
Pitch, Yaw (ZRX, ZRY)
μrad
< 5
Roll (ZRZ)
μrad
< 10
Position Stability in Z 1)
nm
< 40
Accuracy Z 1)
nm
± 30
Position Accuracy C 1)
μrad
± 5
Repeatability C 1)
μrad
± 1.5
Max. Speed unloaded
mm/s2
2000
Max. Acceleration unloaded
mm/s
10
Mechanical Data
Unit
Value
Mounting Position
vertikal
Diameter Cylinder x Height
mm
143 x 169
Total Mass
kg
10.6
Max. Load
kg
10
Material
aluminium hardcoated/anodized
Encoder
Value
Type
absolute
Signal
EnDat2.2
Drive
Unit
Value
Drive Type C-Axis
synchronous, ironless
Intermediate Circuit Voltage C-Axis
VDC
max. 60
Nominal/Peak Force C-Axis
N
32 / 115
Nominal/Max. Current C-Axis
Arms
2.8 / 10
Drive Type Z-Axis
Voice Coil, linear
Intermediate Circuit Voltage Z-Axis
VDC
max. 120
Nominal/Peak Force Z-Axis
N
38 / 120
Nominal/Max. Current Z-Axis at 48 V
A
1 / 3.2
Interfaces and Environment
Unit
Value
Supply Pressure
bar
5
Air Consumption
Sl/min
ca. 50
Clean Room Suitability
applicable
Drive Control
Value
Standard
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
High End
ACS Controller, Triamec

1) ACS amplifier로 측정됨

EZ-0745 ZC-Axis

제어

EZ-0745 ZC-axis는 다음의 driver controller를 제공 합니다.

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