제품 설명
EZ-GS0760 웨이퍼 스테이지는 레이저 퓨즈 절단과 같은 높은 동적 공정을 위해 개발되었습니다. 뛰어난 반복성, 최적의 정확도, 뛰어난 동적 성능을 제공합니다.
내장된 기능:
- X축과 Y축 모두에서 기계적 임펄스 디커플링을 통해 동적 및 위치 안정성을 향상시킵니다.
- 두 축에 공통적인 반응 질량을 가진 독특한 디자인은 측정 프레임에 독립적으로 반응력을 유지하고 질량을 최소화합니다.
- 고해상도 SIOS 차동 레이저 간섭계는 최대 동역학에서도 관심 지점에서의 측정 오류를 최소화하여 사실상 아베 오류 없는 성능을 보장합니다.
- 최대 8G까지 뛰어난 Y축 가속력을 자랑하며, 수냉식은 최대 2G까지 연속적으로 가속할 수 있는 여행 프로필을 제공합니다.
- 웨이퍼 척을 포함한 Y축 고유 주파수는 500Hz를 초과합니다.
- 단지 87mm의 컴팩트한 높이는 낮은 무게 중심을 제공하며 높은 동적특성을 가능하게 합니다.
- 고객 애플리케이션을 수용할 수 있는 대형 상판(석정반)
적용 분야 : Fuse cutting, high-precision positioning, scanning, and on-the-fly laser processes
사양
Type | Unit | Value |
|---|---|---|
| Positioning Range X/Y | ||
| Stroke Z | ||
| Max. Payload X/Y (for dynamic applications) | ||
| Max. Payload Z (for dynamic applications) | ||
| Accuracy X/Y (3σ) | ||
| Accuracy Z | ||
| Repeatability X/Y (3σ, bidirectional) | ||
| Repeatability Z (bidirectional) | ||
| Horizontal Straightness X/Y | ||
| Vertical Straightness X/Y | ||
| Pitch X/Y | ||
| Roll, Yaw X/Y | ||
| Pitch, Yaw Z | ||
| Max. Speed (X/Y) with 10 kg payload | ||
| Max. Acceleration unloaded (X/Y) | ||
Mechanical Data | ||
| Both Axes (X/Y) | ||
| Dimension (w x l x h) | ||
| Reaction Mass | ||
| Total Mass | ||
Encoder | ||
| Type | ||
| Signal | ||
Interferometer | ||
| Type | ||
| Resolution | ||
| Wave Length / Class | ||
Drive | ||
| Type X/Y (2 drives for X-axis) | ||
| Intermediate Circuit Voltage | ||
| Constant Force X / Y | ||
| Peak Force X / Y | ||
Interfaces and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Vacuum Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Vacuum Consumption | ||
| Limit Switch | ||
| Media at workpiece level | ||
| Clean Room Suitability | ||
Drive Control | ||
| High end |
1) ACS 드라이버로 측정됨.
2) 절대치 encoder 요청시 가능
3) bellows 없는 machine은 상세 디자인에 따름
