제품 설명
EZ-8212 스핀들에는 강력한 토크 모터(테크노션)가 장착되어 있으며 최대 5,000rpm의 속도에 도달합니다. 고속에서는 에어 베어링을 냉각해야 합니다. 이를 위해 로터에는 외부 로터리 유니온을 통해 공급할 수 있는 4개의 냉각 채널이 있습니다. 냉각수 입구는 스핀들의 뒤쪽, 스핀들의 출구에 위치하며, 나오는 냉각수는 기판을 냉각하는 데 사용할 수 있습니다. 모터는 별도의 냉각 회로에 의해 냉각되며, 두 포트는 스핀들의 뒤쪽에 위치합니다. 기체매질(진공 또는 압축 공기)를 위한 2개의 채널은 통합 로터리 유니온을 통해 스핀들 앞단에 공급됩니다. 스핀들은 웨이퍼 연삭 응용을 위해 개발되었습니다. 에어 경로 씰은 불결한 환경에서도 손상되지 않은 작동을 보장합니다. 반경 및 축 방향 운동 오차가 200nm 미만인 스핀들은 다양한 고정밀 가공 공정에 적합합니다. 스핀들에는 512개의 라인이 있는 incremental 측정 시스템(Heidenhain TTR ERM)이 장착되어 있습니다. 장착 위치에 대한 제한은 없습니다.
적용분야: Wafer 가공 공정, 테스트 시스템, 높은 동심도 요구에 적용.
사양
Type | Unit | Value |
|---|---|---|
| Turning Range | ||
| Error Motion axial (in the center) | ||
| Error Motion radial (at 20 mm height) | ||
| Axial Runout (at the mounting surface) | ||
| Max. Speed | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Diameter x Height | ||
| Aperture | ||
| Moving Mass (rotor) | ||
| Total Mass | ||
| Max. Load Capacity axial push/pull | ||
| Nominal Load Capacity axial push/pull | ||
| Max. Load Capacity radial | ||
| Nominal Load Capacity radial | ||
| Stiffness axial | ||
| Stiffness radial | ||
| Resistance Against Tilt | ||
| Max. Moment of Tilt | ||
| Material | ||
Encoder | ||
| Type | ||
| Lines per Revolution | ||
| Output Signal | ||
Drive | ||
| Type | ||
| Supply Voltage | ||
| Nominal Torque at 4200 U/min | ||
| Nominal Current at Nominal Torque (with cooling) | ||
Interfaces and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Feedthrough for Vacuum/Compressed Air | ||
| Cable Length | ||
| Clean Room Suitability | ||
Drive Control | ||
| Standard |
