제품 설명
EZ-0779 에어베어링 턴테이블은 높은 축 방향 하중 용량을 갖추고 있으며, 100nm 이하의 축/반경 방향 오차 운동을 제공합니다. 원래 웨이퍼 가공용으로 개발되었지만, 다양한 산업 분야에 활용할 수 있습니다. 다이렉트 드라이브 방식의 에어베어링 턴테이블은 강력한 수냉식 토크 모터를 장착하고 있으며, 옵션으로 최대 6개의 공기/진공 채널을 포함하는 로터리 피드스루를 통합할 수 있습니다. 측정 시스템으로는 **Numerik Jena RIK4 (18,000 라인)**을 사용하며, 보간율(Interpolation Factor)은 5, 10, 50, 100 중 선택할 수 있습니다. 낮은 보간율: 더 높은 속도 가능 높은 보간율: 반복 정밀도 증가 설치 위치에 대한 제한 사항이 없습니다.
적용분야: 웨이퍼 연마, 웨이퍼 박막화, 테스트 시스템, 동기화 및 위치 결정 정밀도가 높은 응용 분야
사양
Type | Unit | 2 phase |
|---|---|---|
| Turning Range | ||
| Error Motion axial (in the center) | ||
| Error Motion radial (at 20 mm height) | ||
| Runout axial (along radius 35 mm) | ||
| Max. Speed 1) | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Diameter x Height | ||
| Aperture | ||
| Moving Mass (rotor) | ||
| Total Mass | ||
| Max. Load Capacity axial push/pull | ||
| Nominal Load Capacity axial push/pull | ||
| Max. Load Capacity radial | ||
| Nominal Load Capacity radial | ||
| Stiffness axial | ||
| Stiffness radial | ||
| Resistance Against Tilt | ||
| Max. Moment of Tilt | ||
| Inertial Moment | ||
| Material | ||
Encoder | ||
| Type | ||
| Lines per Revolution | ||
| Output Signal | ||
| Interpolation Options | ||
Drive | ||
| Type | ||
| Intermediate Circuit Voltage | ||
| Nominal / Peak Torque | ||
| Nominal / Peak Current | ||
Interfaces and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Clean Room Suitability | ||
Drive Control | ||
| Standard | ||
| High end |
1) interpolation value에 따라 다름
제어
EZ-0779 에어베어링 턴테이블은 다음 드라이브 컨트롤러와 함께 제공됩니다:
Kollmorgen Servostar S300 / S700
Kollmorgen AKD P00606
