製品説明
高いアキシャル荷重容量と100nm以下のアキシャル/ラジアル誤差モーションを持つEZ-0779ロータリーテーブルは、もともとウェハープロセス用に開発されたもので、幅広いアプリケーションに適しています。ダイレクトドライブ回転テーブルは、強力な水冷トルクモーターを装備しています。オプションで、最大6つのエアー/真空チャンネルを備えたロータリーフィードスルーを組み込むことができます。18,000本ラインの測定システム(Numerik Jena RIK4)は、オプションで補間係数5、10、50、100のいずれかを選択できる。補間係数を低く設定すれば高速化が可能になり、高く設定すれば繰返し精度が向上する。設置位置の制限はありません。
用途: ウェーハ研削、ウェーハ薄片化、テストシステム、同期や位置決め精度に高い要求があるアプリケーション
仕様
タイプ | 単位 | 価値 |
---|---|---|
旋回範囲 | ||
誤差 軸方向(中央部) | ||
ラジアル方向の振れ(高さ20mmにて) | ||
軸方向振れ(半径35mm方向) | ||
最大回転数 速度 1) | ||
メカニカルデータ | ||
取付位置 | ||
直径×高さ | ||
開口部 | ||
可動質量(ローター) | ||
総質量 | ||
最大 アキシャルプッシュ/プル | ||
公称負荷容量 アキシャルプッシュ/プル | ||
最大負荷容量 ラジアル耐荷重 | ||
公称ラジアル耐荷重 | ||
アキシャル剛性 | ||
ラジアル剛性 | ||
傾きに対する抵抗 | ||
最大 最大傾斜モーメント | ||
慣性モーメント | ||
材質 | ||
エンコーダー | ||
タイプ | ||
ライン/回転 | ||
出力信号 | ||
補間オプション | ||
ドライブ | ||
タイプ | ||
中間電圧 | ||
公称/ピークトルク | ||
公称/ピーク電流 | ||
インターフェイスと環境 | ||
供給圧力 | ||
空気消費量 | ||
クリーンルーム適合性 | ||
ドライブコントロール | ||
スタンダード | ||
ハイエンド |
1) 内挿値による