제품 » 다축 시스템
이동 범위: 250 mm x 450/800 mm
이동 범위: 500/600 mm x 500 mm | 반복 정밀도: ± 50 nm
이동 범위: 350 mm x 450 mm | 반복 정밀도: ± 20 nm
이동 범위: 850 mm x 500 mm | 스텝 간 정확도: < 1 nm
Z축 스트로크: 5 mm | 회전 각도: ± 3°
Z축 스트로크: 310 mm | 고하중 회전 테이블 포함
