제품 설명
EZ-0778 수동형(Passive) 에어베어링 턴테이블은 높은 축 방향 및 반경 방향 하중 용량과 강성을 갖춘 제품입니다. 특히 < 100 nm 이하의 매우 낮은 오차(Motion Error) 특성을 가지므로 고정밀 가공 공정에서의 회전 운동에 이상적입니다. 이 에어베어링 턴테이블은 벨로우즈 커플링 및 풀리(Pulley)를 통해 외부 모터로 구동 가능합니다. 요청 시, 공장에서 미리 조립하여 제공할 수도 있습니다. 또한 설치 위치에 대한 제한이 없습니다, 즉 어떤 방향으로도 장착 가능합니다.
적용 분야: 정밀 선삭(Turning), 폴리싱(Polishing),연삭(Grinding), 웨이퍼 연삭(Wafer Grinding), 고도의 동심도(Concentricity)가 요구되는 애플리케이션
사양
Type | Unit | EZ-0778 |
|---|---|---|
| Turning Range | ||
| Error Motion axial (in the center) | ||
| Error Motion radial (at 20 mm height) | ||
| Axial Runout (along radius 85 mm) | ||
| Max. Speed | ||
Mechanical Data | ||
| Mounting Position | ||
| Diameter x Height | ||
| Max. Load axial | ||
| Nominal Load axial push/pull | ||
| Max. Load radial | ||
| Nominal Load radial | ||
| Stiffness axial | ||
| Stiffness radial | ||
| Resistance Against Tilt | ||
| Max. Moment of Tilt | ||
| Moving Mass (rotor) | ||
| Total Mass | ||
| Inertialmoment | ||
| Material | ||
Interfaces and Environment | ||
| Supply Pressure | ||
| Air Consumption | ||
| Clean Room Suitability |
옵션: 고객 맞춤형 풀리(Pulley) 사양 제공 가능