Vakuumluftlager können sich – durch einen integrierten Unterdruckbereich – selbst vorspannen und haben damit eine hohe Eigensteifigkeit. Eine externe Vorspannung ist nicht erforderlich. Der Unterdruckbereich erfordert die Zufuhr von Vakuum. Vakuumluftlager zeichnen sich durch hohe Positionsruhe in axialer und lateraler Richtung aus. Der Platzbedarf für diese Lagerart ist größer als für ein gewöhnliches Lager mit gleicher Tragfähigkeit. Sie werden u.a. in der Elektronikindustrie, in der Chipfertigung und in der optischen Industrie eingesetzt. Wir entwickeln und fertigen Vakuum-Luftlagermodule nach kundenspezifischen Anforderungen.