气浮轴承ZC轴

EZ-0745-ZC | 重要特征

  • 垂直安装
  • 旋转角度 ±3°
  • 最大承载 10 kg
  • 集成了重量补偿装置
  • 绝对式直线编码器
  • 音圈电机提供动力
  • 可集成到X/Y平台中(比如EZ-0715)

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产品描述

E Z – 0 7 4 5 – Z C 可以集成到X Y 平台中, 比如EZ-0715,形成一个四轴系统。 由于高度集成设计,总体高度仅为138mm。旋转角度±3°。由于C轴的重复定位精度极高,仅为±1.5μrad,使得机台的对准角度极高。集成了2个气浮轴承块,防止Z轴旋转;集成了2个音圈电机提供动力;同时集成了空气轴承平衡气缸来平衡重力。如果需要定制化的、仅作为Z轴使用,请联系我们。

应用:高精度定位、扫描、曝光、激光雕刻、激光加工等。

技术规格

类型
单位
数值
旋转角度(C轴)
°
± 3
行程(Z轴)
mm
5
直线度(ZTX, ZTY)
nm
< 100
俯仰/偏摆(ZRX, ZRY))
μrad
< 5
翻滚(ZRZ)
μrad
< 10
位置稳定度,Z轴 1)
nm
< 40
定位精度,Z轴 1)
nm
± 30
定位精度,C轴 1)
μrad
± 5
重复定位精度,C轴 1)
μrad
± 1.5
最大速度(无负载)
mm/s2
2000
最大加速度(无负载)
mm/s
10
机械参数
单位
数值
安装方向
竖直
尺寸,缸径 x 高度
mm
143 x 169
总重量
kg
10.6
最大承载
kg
10
材料
aluminium hardcoated/anodized
编码器
数值
类型
绝对式
信号
EnDat2.2
电机
单位
数值
类型,C轴
同步、无铁芯
中间电路电压,C轴
VDC
max. 60
额定/峰值推力,C轴
N
32 / 115
额定/最大电流,C轴
Arms
2.8 / 10
类型,Z轴
音圈电机、直线
中间电路电压,Z轴
VDC
最大120
额定/峰值推力,Z轴
N
38 / 120
额定/最大电流,Z轴
A
1 / 3.2
操作使用
单位
数值
供气压力
bar
5
耗气量
Sl/min
大约50
洁净室适用性
通用
驱控系统
数值
标准
Kollmorgen Servostar AKD / S300 / S700
高性能
ACS Controller, Triamec

1)由ACS测得

EZ-0745-ZC-Blueprint-v001

驱控系统

我们也可以提供以下型号的驱动器 / 控制器,供客户选择:

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