产品描述
EZ-GS0760晶圆工作台的开发用于高动态响应的工艺，如激光熔丝切割。它提供了出色的可重复性，最佳的精度和卓越的动态性能。
内置功能如下：
- 在X和Y轴集成了机械脉冲解耦，以提高动态响应和位置的稳定性。
- 反作用力质量块的独特的设计为两个轴保持反作用力独立于测量框架，并最大限度地减少质量
- 高分辨率SIOS差分激光干涉仪确保了几乎无阿贝误差（Abbe-error-free）的性能，即使在最大动态响应下，也能最大限度地减少测量点的测量误差。
- 出色的Y轴加速度可达8g；水冷却允许行程内运动特性高达2G连续加速。
- Y轴固有频率（包括晶圆卡盘）超过500Hz。
- 紧凑的高度（仅87mm）提供了一个低重心，实现高动态响应。
- 大号的顶部托盘（花岗岩），以适应客户的应用
应用: 熔丝切割，高精度定位，扫描，以及动态激光加工
技术规格
类型 | 单位 | 数据 |
|---|---|---|
| 定位范围 X/Y | ||
| Z轴行程 | ||
| X/Y轴最大承载 (高动态响应下) | ||
| Z轴最大承载 (高动态响应下) | ||
| X/Y轴精度 (3σ) | ||
| Z轴精度 | ||
| X/Y轴重复精度 (3σ 双向) | ||
| Z轴重复精度 (双向) | ||
| X/Y直线度 | ||
| X/Y轴垂直度 | ||
| X/Y轴俯仰 | ||
| 翻滚 X/Y轴偏摆 | ||
| 俯仰 Z轴偏摆 | ||
| 10kg负载下最大速度(X/Y) | ||
| 无负载下最大加速度 (X/Y) | ||
机械参数 | ||
| 双轴 (X/Y) | ||
| 尺寸（宽x长x高） | ||
| 反作用力质量块 | ||
| 总重量 | ||
编码器 | ||
| 类型 | ||
| 信号 | ||
干涉仪 | ||
| 类型 | ||
| 分辨率 | ||
| 波长 / 等级 | ||
驱控器 | ||
| X/Y类型 (X轴采用软性龙门驱动) | ||
| 电压 | ||
| X/Y轴恒定推力 | ||
| X/Y轴峰值推力 | ||
接口和使用环境 | ||
| 供气压力 | ||
| 真空压力 | ||
| 耗气量 | ||
| 真空耗气量 | ||
| 限位开关 | ||
| 冷却液工作液面 | ||
| 洁净室适用性 | ||
驱控器 | ||
| 高性能 |
1) 由ACS驱动器测得
2) 如需要绝对式编码器，请联系我们
3) 如不需要风琴罩，请联系我们
