旋转平台

EZ-0779 | 重要特征

  • 电机直驱+气浮轴承旋转平台(运动部件无机械磨擦)
  • 轴向承载 3,000 N
  • 跳动< 0.1 μm
  • 转速 500 转/分钟
  • 水冷系

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产品描述

EZ-0779 气浮旋转平台具有很高的承载能力和很低误差运动(低至 100 nm),最初是为半导体晶圆加工而开发的;其实它有很广泛的应用。该气浮转台配有水冷式大扭矩的电机,电机和气浮轴承的动子和转子之间无机械接触,实现“ 零摩擦”运动。 可选配6通道的旋转接头,既可以联通压缩空气也可以联通负压。 配有 18,000 条刻线的增量式编码器 Numerik Jena RIK4,可以插值(电子细分)5、10、50 或100 倍。倍分系数越小,转速越高;电子细分倍数越大,旋转精度越高,但是转速越低。 EZ-0779 的安装方向没有限制,可水平也可以竖直安装。

应用领域: 晶圆研磨、晶圆减薄、测量系统/ 装备、对重复精度和同步性要求高的场合。

技术规格

类型
单位
数值
旋转角度
°
> 360 (任意)
轴向误差运动 (中心线)
μm
<0.1
径向误差运动 (在 20 mm 高度)
μm
<0.1
轴向跳动
μm
1
最大转速 1)
rpm
500
机械数据
单位
数值
安装方向
不限
尺寸(直径 x 高度)
mm
300 x 345
内孔(通孔)直径
mm
50
转子重量
kg
31
转台总重
kg
70
轴向最大承载
N
2,700
轴向额定承载
N
2,200
径向最大承载
N
1,600
径向额定承载
N
1,300
轴向刚度
N/µm
450
径向刚度
N/µm
130
倾斜刚度
Nm/µrad
4
倾覆力矩
Nm
60
惯性力矩
kg*m2
0.12
材料
aluminium anodized / stainless steel
编码器
单位
数值
类型
增量式
码盘刻线
18,000
输出信号
1Vpp
插值(电子细分)选项
5-, 10-, 50-, 100-fold
电机
单位
数值
类型
同步、有铁芯、
中间电路电压
VDC
最大 400
额定/峰值扭矩
Nm
60 / 218
额定/峰值电流
A rms
6.7 / 32.9
操作 /使用
单位
数值
供气压力
bar
5
耗气量
Sl/min
ca.50
洁净室适用性
适用
驱控系统
标准
Kollmorgen AKD P00606 / Servostar S300
高性能
ACS Controller

1)依据插值倍数

EZ-0779 Drehtisch

驱控系统

我们也可以提供以下型号的驱动器/ 控制器,供客户选择:

Kollmorgen Servostar S300 / S700

Kollmorgen AKD P00606

ACS Controller

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